补充资料：半导体清洗剂811

分子式：
分子量：
CAS号：

性质：为琥珀色粘稠液体。对水溶液有增稠特性，对动物油、植物油和矿物油具有良好的乳化性能，对金属有短期防锈性能。主要用作半导体硅片预氧化前的第一次清洗，以去除硅片上的油污和石蜡。由椰子油酸甲酯，在碱性条件下与过量二乙醇胺反应，然后进行精制即得本品。

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