补充资料：五甲氧基钽

分子式：
CAS号：

性质：熔点50℃。沸点130℃(26.7Pa)。纯度≥99.99%。可燃白色可燃固体，是空气和水敏感的化合物。制备方法有：(1)五氯化钽与无水甲醇及高纯氨反应；(2)电化学法。提纯采用减压精馏法。主要用于CVD法和Sol-Gel法制备高纯Ta₂O₅或含Ta₂O₅组分的多组分氧化物薄膜及粉体的功能材料的前体源。

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