1) trisilylmethane
三甲硅基甲烷
3) Trimethyl chloro silicane
三甲基氯甲硅烷
4) TMBD
三甲基溴甲硅烷
5) TMIS
三甲基碘甲硅烷
6) silane a-163
甲基三甲氧硅烷
补充资料:三甲硅基甲烷
分子式:HC(SiH3)3
CAS号:
性质:为无色液体,沸点61℃,先用HC(SiH2Ph)3和HBr反应,再用LiAlH4、四氢萘和氯化苄基三乙基铵作用制得。作化学气相沉积的原料气。
CAS号:
性质:为无色液体,沸点61℃,先用HC(SiH2Ph)3和HBr反应,再用LiAlH4、四氢萘和氯化苄基三乙基铵作用制得。作化学气相沉积的原料气。
说明:补充资料仅用于学习参考,请勿用于其它任何用途。
参考词条