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1)  trisilylmethane
三甲硅基甲烷
2)  trimethylsilane
三甲基硅烷
3)  Trimethyl chloro silicane
三甲基氯甲硅烷
4)  TMBD
三甲基溴甲硅烷
5)  TMIS
三甲基碘甲硅烷
6)  silane a-163
甲基三甲氧硅烷
补充资料:三甲硅基甲烷
分子式:HC(SiH3)3  
CAS号:

性质:为无色液体,沸点61℃,先用HC(SiH2Ph)3和HBr反应,再用LiAlH4、四氢萘和氯化苄基三乙基铵作用制得。作化学气相沉积的原料气。

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