1) gas filter (used in high purity gas system)
气体过滤器
2) gas filter
滤气器，气体过滤器
3) high efficiency gas filter
高效气体过滤器
1.
The characteristics of device for natural gas dust removal and purification combining high efficiency cyclone separator and high efficiency gas filter and the mathematical model for simulated calculation of the device are discussed.
论述了由高效旋风分离器和高效气体过滤器组合而成的天然气除尘净化装置的特点和模拟计算数学模型。
4) Cottrel gas cleaner,gas filter
气体过滤器<冶>
5) filter, intermittent, for gases
气体间歇过滤器
6) filter, screen, for gases
气体网式过滤器
补充资料：气体过滤器
分子式：
CAS号：
性质：是依据碰撞、扩散和截获机理将气体中粒子过滤掉的装置。集成电路发展到兆位级后，对超净提出了更严格要求。SEMI标准对10/0.1级以管道供给的氮和氩气中规定≥0.1μm粒子≤0.4个/L；16M DRAM用气中大于0.1μm的粒子小于1个/L。在超高纯气体或电子气体供气系统中，为了脱除由于振动或气流冲击所造成的脱落粒子，应在阀门和配件下游和使用所前安装过滤器。粒子过滤器的选型及规格视气体控制规范而定。过滤器壳体一般采用316不锈钢，滤芯有烧结的多孔金属滤芯，耐腐蚀耐热的镍基合金，100%镍合金，铝陶瓷，Teflon膜，陶瓷膜等。
CAS号：
性质：是依据碰撞、扩散和截获机理将气体中粒子过滤掉的装置。集成电路发展到兆位级后，对超净提出了更严格要求。SEMI标准对10/0.1级以管道供给的氮和氩气中规定≥0.1μm粒子≤0.4个/L；16M DRAM用气中大于0.1μm的粒子小于1个/L。在超高纯气体或电子气体供气系统中，为了脱除由于振动或气流冲击所造成的脱落粒子，应在阀门和配件下游和使用所前安装过滤器。粒子过滤器的选型及规格视气体控制规范而定。过滤器壳体一般采用316不锈钢，滤芯有烧结的多孔金属滤芯，耐腐蚀耐热的镍基合金，100%镍合金，铝陶瓷，Teflon膜，陶瓷膜等。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条