补充资料：吹洗体积

分子式：
CAS号：

性质：拟被吹除或置换的不需要的气体所占据的管道、阀门，减压器和其他部件的体积之和。在半导体厂供气系统中，要求尽量缩短供气管，阀门、减压器和其他配件的内部容积应尽可能小，没有死体积，与气体接触的材质表面光洁，不吸附气体和水分，不放气、无粒子脱落。满足了这些条件就可以减少吹洗用气体量，缩短吹洗时间。

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