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1)  micro-nano structures
微纳器件
2)  micro/nano device
微/纳米器件
3)  micro/nanoelectromechanical systems
微纳米器件
4)  micro and nano device package
微纳器件封装
5)  nanodevice
纳米器件
1.
Realization of Nanostructures by Anodic Oxidation and its Application to Nanodevices;
基于阳极氧化法的纳米结构加工和纳米器件的制备
2.
Principle of electron beam lithography and its application on the nanofabrication and nanodevice;
电子束光刻技术的原理及其在微纳加工与纳米器件制备中的应用
3.
In recent years the research of nanodevices have an enormous impact on various scientific fields.
近几年来对纳米器件的研究给各个领域带来了巨大的冲击。
6)  nano-device
纳米器件
1.
The research work of the Institute of Microelec-tronics in Chinese Academy of Sciences is mainly about the fabrication of nano-structures and nano-devices including electronic and optical devices with two sets of electron beam lithography systems,JEOL JBX 5000LS and JBX 6300FS.
介绍了中国科学院微电子研究所拥有JEOLJBX5000LS、JBX6300FS纳米电子束光刻系统和电子显微镜系统的电子束光刻技术实验室,利用电子束直写系统所开展的纳米器件和纳米结构制造工艺技术方面的研究。
补充资料:寄微之 时微之为虢州长史。
【诗文】:
高天默默物茫茫,各有来由致损伤。
鹦为能言长剪翅,龟缘难死久搘床。
莫嫌冷落抛闲地,犹胜炎蒸卧瘴乡。
外物竟关身底事,谩排门戟系腰章?





【注释】:



【出处】:
全唐诗
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参考词条