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1)  spacing between Si flakes
硅片间距
2)  Si-phase interval
硅相间距
3)  Lamellar Spacing
层片间距
1.
The influences of sample thickness on the anisotropy effect of interface energy and the adjustment mechanism of lamellar spacing in the initial transient of eutectic solidification were investigated.
7%C2Cl6(摩尔分数),对共晶合金定向凝固界面演化进行了实时观察,研究了初始非稳态凝固过程中试样厚度对于共晶合金界面能各向异性效应及层片间距调整机制的影响规律。
2.
The effect of cooling rate on eutectic crystallization undercooling,eutectic lamellar spacing and size of eutectic colony was studied and analyzed with theory.
考察了冷却速度对共晶结晶过冷度、共晶层片间距和共晶团大小的影响,并从理论上进行了解析推导。
3.
It is important to control the lamellar spacing of fully la mellar TiAl alloy for improving its mechanical properties.
利用光学显微镜 (OM)和TEM ,研究了全层状TiAl合金的层片间距的影响因素及与各因素的关系。
4)  lamellar spacing
片层间距
1.
By multiphase field model method,the unidirectional solidification of eutectic alloy CBr_4-C_2Cl_6 is simulated,and the adjustment of lamellar spacing and morphology evolution have been investigated under three schemes of variable pulling speed, i.
利用多相场模型模拟了共晶合金CBr4-C2Cl6定向凝固变速生长过程,研究了阶跃变速、线性变速以及震荡变速三种变速条件下共晶片层间距的调整以及形态的变化。
2.
The results show that small Cr addition in steel can decrease the lamellar spacing of pearlite, and markedly increase strength and hardness with almost the same ductility and toughness, and accordingly improve wear and shelling-resistance of wheel steel.
实验结果显示,加入微量的铬,可以细化珠光体的片层间距,在保持韧塑性基本不变的情况下,显著增加材料的强度和硬度,从而提高车轮钢的耐磨性和抗剥离性能。
3.
Furthermore, the relation between lamellar spacing and growth velocity corresponds to λv 1/2 =(216±42)μ m 3/2 ·s -1/2 where the constant is larger than other eutectic systems.
0mm/s时,出现片层状类共晶生长,且片层间距和生长速度的关系很好地符合λv1/2=(216±42)μm3/2·s-1/2关系,该数值与多数共晶系相比偏高。
5)  interlamellar spacing
片层间距
1.
Its fatigue life is marked influenced by the interlamellar spacing.
作者从对具有不同片层间距的珠光体团的有限元分析结果出发,定性分析了层间距对其力学性能及疲劳寿命的影响机制。
6)  distance between two hulls
片体间距
补充资料:硅片制备
      制备符合硅器件和集成电路制作要求的单晶硅片的工艺,包括滚磨、切割、研磨、倒角、化学腐蚀、抛光,以及几何尺寸和表面质量检测等工序。
  
  滚磨  切片前先将硅单晶棒研磨成具有精确直径的单晶棒,再沿单晶棒的晶轴方向研磨出主、次参考面,用氢氟酸、硝酸和冰醋酸的混合液腐蚀研磨面,称为减径腐蚀。
  
  切割  也称切片,把硅单晶棒切成所需形状的硅片(如圆片)的工艺。切割分外圆切割、超声切割、电子束切割和普遍采用的内圆切割等。
  
  研磨  也称磨片,在研磨机上,用白刚玉或金刚砂等配制的研磨液将硅片研磨成具有一定厚度和光洁度的工艺。有单面研磨和双面研磨两种方式。
  
  倒角  为解决硅片边缘碎裂所引起的表面质量下降,以及光刻涂胶和外延的边缘凸起等问题的边缘弧形工艺。倒角方法有磨削、喷砂、化学腐蚀和恰当的抛光等,较普遍采用的是用倒角机以成型的砂轮磨削硅片边缘,直到硅片边缘形状与轮的形状一致为止(见图)。
  
  
  化学腐蚀  也称减薄腐蚀,目的是除去切磨后硅片表面的损伤层和沾污层,改善表面质量和提高表面平整度。化学腐蚀法有篮式、桶式、旋转杆式和盒式,采用氢氟酸、硝酸和冰醋酸的混合液从硅片两侧腐蚀掉一定的厚度。
  
  抛光  为了制备合乎器件和集成电路制作要求的硅片表面,必须进行抛光,以除去残留的损伤层并获得一定厚度的高平整度的镜面硅片。抛光分机械抛光、化学抛光、电子束抛光、离子束抛光,较普遍采用的是化学机械抛光。化学机械抛光是化学腐蚀和机械磨削同时进行,分为铜离子抛光、铬离子抛光和普遍采用的二氧化硅胶体抛光。二氧化硅胶体抛光是由极细的二氧化硅粉、氢氧化钠(或有机碱)和水配制成胶体抛光液。在抛光过程中,氢氧化钠与硅表面反应生成硅酸钠,通过与二氧化硅胶体的磨削,硅酸钠进入抛光液,两个过程不停顿地同时进行而达到抛光的目的。根据不同要求,可用一次抛光、二次抛光(粗抛光和精抛光)或三次抛光(粗抛光、中间抛光和精抛光)。为满足超大规模集成电路对表面质量和平整度的要求,已有无蜡抛光和无磨料抛光等新工艺。
  
  硅抛光片检测  包括目检、几何尺寸检测和热氧化层错检测等。目检是在正面高强度光或大面积散射光照射下目测抛光片上的原生缺陷和二次缺陷。这些缺陷包括边缘碎裂、沾污、裂纹、弧坑、鸦爪、波纹、槽、雾、嵌入磨料颗粒、小丘、桔皮、浅坑、划道、亮点、退刀痕和杂质条纹等。几何尺寸的检测包括硅片的厚度、总厚度变化、弯曲度和平整度的检测。厚度为硅片中心上、下表面两个对应点之间的距离;总厚度变化为同一硅片上厚度最大值与最小值之差;弯曲度为硅片的中线面与参考平面之间距离的最大值与最小值之差;平整度指硅片表面上最高点与最低点的高度差,用总指示读数表征。硅片的热氧化层错检测是指硅抛光片表面的机械损伤、杂质沾污和微缺陷等在硅片热氧化过程中均会产生热氧化层错,经择优腐蚀后,在金相显微镜下观测热氧化层错的密度,以此鉴定硅片表面的质量。
  

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参考词条