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1)  Thermal sensor
热传感器
2)  thermal sensor
热敏传感器
1.
Heat insulation is crucial to develop micromachined thermal sensors with high performance.
MEMS微型热敏传感器在流动测量领域有重要应用,而隔热结构对传感器性能有着决定性影响。
2.
A new type of the thermal sensor with the structure of thermopile based on the porous silicon is designed and studied in this paper.
随着微电子机械系统(MEMS)的发展,多孔硅优良的机械性能和热学性能逐渐引起大家的关注,成为MEMS中新兴的牺牲层和绝热层材料,而热敏传感器在工农业生产和日常生活中,始终占据着重要地位。
3.
With MEMS fabrication technology,flexible Ni thermal sensor array was successfully fabricated.
利用Ni材料的高电阻温度系数特性,结合MEMS微加工技术,研究开发了全柔性的Ni基热敏传感器及其阵列。
3)  hot-film sensor
热膜传感器
4)  thermal sensors
测热传感器
5)  copper heat sensor
铜热传感器
6)  intellecture thermal flow sensor
量热传感器
补充资料:变压器式传感器
      利用变压器作用原理把被测位移转换为初、次级线圈互感变化的变磁阻式传感器。它由两个或多个带铁心的线圈构成,初、次级线圈间的互感能随衔铁或两个线圈间的相对移动而改变。当用适当频率的电压激励初级线圈时,次级线圈的输出电压将随互感的改变而变化,从而将被测位移转换为电压输出。这种传感器在使用中常采取两个同名端串接的次级绕组线圈,以差动方式输出,所以又称为差动变压器式传感器。变压器式传感器的特点与电感式传感器相同,有时亦称电感式传感器。但变压器式传感器在设计上具有更大的灵活性,应用更为广泛。旋转变压器、感应同步器、自整角机都属于变压器式传感器。变压器式传感器主要用于测量位移和能转换成位移量的力、张力、压力、压差、加速度、应变、流量、厚度、比重、转矩等参量。
  

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