1) ultrasonic control system
超声控制系统
2) phased array uitrasound system
相控阵超声系统
3) ultrasonic control
超声控制
4) sound field control system
声场控制系统
5) ultrafiltration control system
超滤控制系统
6) super purification control system
超净化控制系统
1.
A kind of super purification control system which can realize the high spotless environment for LSI s manufacturing is introduced.
介绍了一种实现大规模集成电路 (LSI)无尘生产环境的超净化控制系统 ,该系统的现场控制回路采用了先进的仿人工智能PID控制算法 ,这种算法避免了系统反馈滞后的振荡缺陷 ,利用LonWorks的网络技术 ,实现整体净化系统的智能化、可视化控制。
补充资料：反馈控制(见控制系统)
反馈控制(见控制系统)
feedback control
于。。伙。]伙ongZ片}反馈控制(几edbaekcontrol)见拉制系统。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条