1) Etch Rate Uniformity
刻蚀速率均匀性
2) average etching rate
平均刻蚀速率
3) uniform corrosion rate
均匀腐蚀速率
1.
The effect of environmental factors on CO_2 uniform corrosion rate and the establishment of predictive model;
环境因素对CO_2均匀腐蚀速率的影响及腐蚀速率预测模型的建立
4) etching uniformity
刻蚀均匀度
1.
The etching uniformity of UBM layer and the bump undercut were compared by batch tool and single wafer tool.
通过槽式批量和单片机刻蚀相应的UBM(凸点下金属层)的均匀度、刻蚀速率和凸点底切的对比,结果显示单片湿法刻蚀机刻蚀均匀度小于5%且片与片之间刻蚀速率差异小于2%,以及凸点底切小于2μm。
5) Etching rate
蚀刻速率
6) etching rate
刻蚀速率
1.
The etching rate and mechanism for quartz and BK7 glass in CF_4/CHF_3 as working gas were investigated as a function of gas composition, gas flowrate and RF bias voltage, and the results showed that the etching rate is in direct proprtion to the mean square root of RF bias voltage.
用CF4/CHF3作为工作气体对石英和BK 7玻璃进行了研究,分析了气体组分、气体流量和射频偏压等几种因素对刻蚀速率的影响,结果表明刻蚀速率与射频偏压的均方根成正比。
2.
In this paper, an investigation of the laser chemical etching of the Nickel-ironalloy(Ni=52%) in sodium nitrate solution by using a relatively low power Argon-ion laser hadbeen made, etching rates had been determined as a function of laser power and solution concent-ration, etching mechanism had been analysed.
利用氩离子激光,在较低的激光功率下,对铁镍合金(Ni=52％)在硝酸钠溶液中的激光化学刻蚀作了研究,给出了刻蚀速率与激光功率和溶液浓度之间的关系曲线,分析了刻蚀的机理。
3.
And the effects of these factors on etching rate and etching results were discussed and analyzed in detail.
实验中可以明显观察到刻蚀过程中的反应限制阶段与扩散限制阶段,说明经过长时间的刻蚀,HF酸的扩散效应将成为影响刻蚀速率的主导因素。
补充资料：电化学刻蚀
分子式：
CAS号：
性质：也称电解浸蚀。在一定的电解液中，采用电化学原理选择性地除去某种金属(或半导体)的过程。可外加电压(为电刷镀的逆过程)或不外加电压(化学刻蚀)。影响电化学蚀刻的因素有电场强度和频率、探测器厚度、蚀刻液浓度和径迹倾角等。化学刻蚀法使用较多，例如在印刷电路板的制作中，通过如下反应：Cu→Cu2++2e-(阳极) ；2Fe3++2e-→2Fe2+(阴极)。按预作保护的图样除去绝缘基板上的铜覆盖层。在微电子装置的制作中，对半导体(如硅)选择性地刻蚀是关键步骤。常用的刻蚀剂有CuCl2，FeCl3，H2CrO4，NH4Cl，H2O2-H2SO4等。
CAS号：
性质：也称电解浸蚀。在一定的电解液中，采用电化学原理选择性地除去某种金属(或半导体)的过程。可外加电压(为电刷镀的逆过程)或不外加电压(化学刻蚀)。影响电化学蚀刻的因素有电场强度和频率、探测器厚度、蚀刻液浓度和径迹倾角等。化学刻蚀法使用较多，例如在印刷电路板的制作中，通过如下反应：Cu→Cu2++2e-(阳极) ；2Fe3++2e-→2Fe2+(阴极)。按预作保护的图样除去绝缘基板上的铜覆盖层。在微电子装置的制作中，对半导体(如硅)选择性地刻蚀是关键步骤。常用的刻蚀剂有CuCl2，FeCl3，H2CrO4，NH4Cl，H2O2-H2SO4等。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条