1) LEC
高压液封直拉法
1.
Pull GaP Single Crystal Using LEC Method;
本文论述了高压液封直拉法的基本原理、发展历史、特点,该法在半导体材料行业的应用及应用中的影响因素,化合物半导体材料磷化镓的概况、高压液封直拉法在制备该材料时的应用。
2) high voltage
高压
1.
Selective ground protecting principle and application analysis of 6 kV high voltage using in coal mine;
煤矿6kV高压选择性接地保护原理及应用分析
2.
Analysis of fire hidden trouble of cross - linked polythene cable for high voltage and countermeasures;
马钢高压交联聚乙烯电缆火灾隐患的分析与对策
3.
Analysis of XG high voltage system of ecomomical spiral (ESR) CT;
GE经济型螺旋(ESR)CT机XG高压系统分析
3) high pressure
高压
1.
A new method for gel point measurement of crude oil with dissolved gas under high pressure;
高压含气原油凝点测量新方法
2.
The low temperature thermoelectric properties of Bi_(0.85)Sb_(0.15) fabricated by high pressure;
高压合成纳米晶Bi_(0.85)Sb_(0.15)的低温热电性能
3.
Effects of composite burning-rate modifiers on combustion properties of NEPE propellant under high pressure;
复合燃速调节剂对NEPE推进剂高压燃烧性能的影响
4) high-pressure
高压
1.
Portable high-pressure direct atomize water mist fire suppression system;
移动式高压直接雾化细水雾灭火系统
2.
The Study and Application of Food Processing Using High-pressure Method;
食品高压处理方法的研究和应用
3.
Studies on Structure and Fluorescence Spectra of High-pressure-treated EuI_2;
高压后EuI_2的结构及光谱性质研究
5) high-voltage
高压
1.
Treatment of High-voltage Cylinder Crack and Measure ofRepair Welding in QiaoTou Thermal Power Plant;
桥头电厂高压汽缸裂纹的处理及补焊工艺措施
2.
Discussion the application of outdoor high-voltage lapse fuse and high-voltage switch-disconnected;
户外高压跌落式熔断器与高压隔离开关的使用
3.
Analysis on electromagnetic radiation test of high-voltage transmission and transformation power facilities;
高压输变电设施电磁辐射测试与环境影响分析
6) Hypertension
高压
1.
Animal experiment of curing pre-hepatic portal hypertension by fixation between liver and spleen;
肝脾固定治疗犬肝前性门脉高压效果观察
2.
Influence of Radix Astragali on superoxide dismutase and malonyldialdehide in pulmonary tissue of hypoxemic pulmonary hypertension in rats;
黄芪对低氧性肺动脉高压大鼠肺组织中超氧化物歧化酶、丙二醛的影响
3.
The Hyperplasia of Pulmonary Arteriole Wall during Pulmonary Hypertension can be Interfered by Calcium Channel Blocking and Aspirin;
钙通道阻断剂与阿斯匹林对肺高压时肺小动脉壁增生的影响
参考词条
补充资料:液封直拉法单晶生长
液封直拉法单晶生长
liquid encapsulated czochralski crystal growth
yefeng zh}lafa donJ,ng shengzhang液封直拉法单晶生长(liquid eneapsulatedCzoehralski erystal growth)用液态覆盖剂封闭熔体控制挥发组分实现半导体晶体生长的一种方法,简称为LEC法。主要用于化合物半导体单晶生长。方法的实质是在普通直拉法增祸中的熔体表面上覆盖一液相层,以防止化合物半导体易挥发组分的损失(见图)。其单晶生长工艺过程与普通直拉法类似,但需要根据所生长材料离解压的大小,生长室内充以一定压力的惰性气体。单晶生长速度一般为5~12mm/h。LEC法于1962年首先由麦兹(E.P.A.Metz)用于PbTe和Pbse单晶生长。于1965年由马林(J.B.Mullin)应用于GaAs单晶生长。中国于1967年前后开始用于GaAS单晶的研制。该方法覆盖剂的选择必须具备以下条件:(1)在材料熔点温度下覆盖剂的蒸汽压可忽略不计,并为透明体。(2)其密度必须小于熔体的密度。(3)化合物及其组成元素必须是不溶解于覆盖剂。(4)覆盖剂必须是既不污染又不与材料有任何化学反应。就l一V族材料而言,B203是最为理想的覆盖剂。此外,早期的研究工作也有采用BaC12、BaCI:+KCI等为覆盖剂,但是熔点在800℃以下的材料,如Gasb(熔点为712℃)等则采用KCI十NaCI为覆盖剂。LEC法一般采用石墨加热器,因而生长室内惰性气体中含有一定微量碳的氧化物,必须控制BZO。中的水含量,以避免碳对所生长单晶材料的污染。所以BZO3在装料前根据不同材料的需要,需在真空度为10一3Pa、温度110℃下脱水12~24h,同时还可以除去BZO。中挥发性杂质。 LEC法的优点是可生长大直径圆柱状GaAs单!,、。。打中… 液封直拉法单晶生长示意图晶,并且易于晶片加工。如LEC法GaA、单晶生产水平为小76.2~150mm,工业生产均己实现等径控制。中国生产水平为小50mm。位错密度大都为1少数量级。LEC法还可用于GaP、InP,Gasb等单晶生长。 (刘锡田)
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