1) distortion of e-beam field
扫描场畸变
1.
The paper summarizes how many kinds of distortion of e-beam field, exhibits the project and the flow chart of automatic-correction program about the linear distorti-on.
本文通过对扫描电子束曝光机标记信号检测及对准技术的分析,提出了背散射检测电路的设计方案和电路原理图,给出了实验结果;总结了电子束扫描场畸变的种类,给出了线性畸变的自动校正软件的设计方案和流程图;介绍了非线性畸变校正的方法。
2) scan distortion
扫描畸变
1.
This article introduces the reason why there s existing the distortions of the micro align models and explains what is cross distortion and scan distortion 340 and how to match the different "340".
叙述了340光刻机发生畸变的原因,并解释了什么是交叉畸变,什么是扫描畸变,并对如何进行两台340光刻机的匹配进行了探讨。
3) scan (sweep) positional distortion
扫描位置畸变
4) scan positional distortion
扫描定位畸变
5) line scanning waveform distortion
行扫描波形畸变
6) Single-field Scanning
单场扫描
补充资料：显微镜装有场发射枪的扫描电子显微镜,分辨率为20
[图]
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条