1) planar microstrip spiral low-power microwave ICPS
小功率平面微带螺旋微波等离子体源ICPS
2) low power microwave plasma source
小功率微波等离子体源
1.
The impedance matching of low power microwave plasma source was analyzed based on odd mode equivalent circuit and the interrelation between S parameter and microwave plasma impedance,and the discharges in various gas pressure were studied.
45 GHz小功率微波等离子体源,根据微带环缝谐振器的奇模等效电路,通过S参数与微波等离子体阻抗之间的关系,研究小功率微波等离子体源的阻抗匹配及其在不同气体条件下的放电规律。
3) low power inductively-coupled microwave plasma source
小功率电感耦合微波等离子体源
1.
A low power inductively-coupled microwave plasma source based on planar spiral microstrip at 2.
45GHz小功率电感耦合微波等离子体源,根据等效变压器耦合模型分析等离子体源的谐振特性,通过微波等离子体吸收功率与等离子体阻抗之间的关系,研究不同气压条件下的放电规律。
4) Microwave plasma source
微波等离子体源
1.
Modeling of planar spiral inductively-coupled microwave plasma source;
平面螺旋电感耦合微波等离子体源的建模分析
5) microwave micro-plasma source
微波微等离子体源
1.
The microwave micro-plasma source is of important application value in the industrial field.
微波微等离子体源在工业生产中有重要应用,可以产生可控的小尺寸放电,在生物MEMS灭菌消毒、小规模材料处理、微化学分析系统、微推进等领域中有广泛前景。
6) planar spiral microstrip
平面螺旋微带
1.
A low power inductively-coupled microwave plasma source based on planar spiral microstrip at 2.
本文提出一种基于平面螺旋微带的2。
补充资料：电感耦合微波等离子体焰炬
分子式：
CAS号：
性质： 由微波感生、用于发射光谱分析的等离子体光源。将发生等离子体焰炬的石英管，置于微波谐振腔中，以2450MHz的微波激发。产生的光谱简单，背景低，耗气与耗电量小。
CAS号：
性质： 由微波感生、用于发射光谱分析的等离子体光源。将发生等离子体焰炬的石英管，置于微波谐振腔中，以2450MHz的微波激发。产生的光谱简单，背景低，耗气与耗电量小。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条