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1)  Machining System of Micro Abrasive Waterjet
微磨料水射流加工系统
2)  abrasive waterjet machining
磨料水射流加工
3)  Micro-abrasive Jet Machining
微磨料气射流加工
4)  Precision Abrasive Waterjet Machining
精密磨料水射流加工
5)  Abrasive Airjet Machining
磨料气射流加工
1.
Abrasive Airjet Machining has many advantages, such as high machining versatility, almost no heat generated and low machining cost.
磨料气射流加工技术具有工艺适应性强,没有热影响,加工成本低等优点,是加工硬脆难加工材料的理想加工技术。
6)  micro abrasive water jet
微磨料水射流
1.
Development of micro abrasive water jet machining technology;
微磨料水射流加工技术的发展
2.
Micro abrasive water jet is a new micro processing technology based on the traditional abrasive water jet machining technology.
微磨料水射流加工技术是在传统磨料水射流加工技术的基础上发展起来的一种全新的微加工技术,是一种“软、冷”切割加工方式,具有无热影响区、切口质量好、无火花、无污染、能量集中等独特的优点,主要应用于硬脆性材料的加工及微刻蚀领域。
3.
Based on the analysis of recent development of micro abrasive water jet technology in the world,the method for producing micro abrasive water jet as well as the key technology were put forward.
介绍了微磨料水射流技术及其在半导体制造工艺中的应用。
补充资料:制造业的一枝奇葩——高压水射流加工技术
 

摘要 论述了高压水射流加工技术的起源、切割机理,并介绍了获得高压水射流的基本原理和应用范围。



关键词 高压 水射流 切割机理




1. 水射流加工技术起源
 



    “水滴石穿”体现了在人们眼中秉性柔弱的水本身潜在的威力,然而,作为一项独立而完整的加工技术,高压水射流(WJ)、磨料水射流(AWJ)的产生却是最近三十年的事,利用高压水为人们的生产服务始于十九世纪七十年代左右,用来开采金矿,剥落树皮,直到二战期间,飞机运行中“雨蚀”使雷达舱破坏这一现象启发了人们思维。直到本世纪五十年代,高压水射流切割的可能性才源于苏联,但第一项切割技术专利却在美国产生,即1968年由美国密苏里大学林学教授诺曼·弗兰兹博士获得。在最近十多年里,水射流(WJ、AWJ)切割技术和设备有了长足进步,其应用遍及工业生产和人们生活各个方面。许多大学、公司和工厂竞相研究开发,新思维、新理论、新技术不断涌现,形成了一种你追我赶的势头。目前已有3000多套水射流切割设备在数十个国家几十个行业应用,尤其是在航空航天、舰船、军工、核能等高、尖、难技术上更显优势。已可切割500余种材料,其设备年增长率超过20%。



2.高压水射流加工系统构成与增压原理



    高压水射流基本原理归之为:运用液体增压原理,通过特定的装置(增压口或高压泵),将动力源(电动机)的机械能转换成压力能,具有巨大压力能的水在通过小孔喷嘴(又一换能装置),再将压力能转变成动能,从而形成高速射流(WJ)。因而又常叫高速水射流。



     高压水射流系统见图1,主要由增压系统、供水系统、增压恒压系统、喷嘴管路系统、数控工作台系统、集水系统及水循环处理系统等构成。油压系统低压油(10~30MPa)推动大活塞往复来回移动,其方向由换向阀自动控制。供水系统先对水进行净化处理,并加入防锈添加剂等,然后由供水泵打出低压水从单向阀进入高压缸。增压恒压系统包括增压器和蓄能器两部分,增压器获得高压原理如图2所示,即利用大活塞与小活塞面积之差来实现,理论上:A大·P油=A小·P水, P出水=A大/A小·P油, 增压比即大活塞与小活塞面积之比,通常为10:1~25:1,由此,增压器输出高压水压力可达100MPa~750MPa。由于水在400Mpa时其压缩率达12%,因而活塞杆在走过其整个行程八分之一后才会有高压水输出。活塞到达行程终端时,换向阀自动使油路改变方向(图中虚线箭头所示),进而推动大活塞反向行进,此时高压水在另端输出。如果将此高压水直接送到喷嘴,那么喷嘴出来的射流压力将会是脉动的(图3中虚线),而且这对管路系统产生周期性振荡,为获得稳定的高压水射流,常在增压器和喷嘴回路之间设置一蓄能(恒压)器,消除水压脉动,达到恒压之目的,常能控制脉动量在5%之内(图3实线)。


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参考词条