1) micro electrical mechanical system
微机电加工技术
2) MEMS technology
微电子机械加工技术
1.
The two parts are fabricated by MEMS technology and combined as a w.
器件采用微电子机械加工技术和键合技术研制。
3) micromachining technology
微机械加工技术
1.
2mm 2 and 300μm thick) was developed for the construction of micro size sensor by micromachining technology and anisotropic etching.
利用微机械加工技术、各向异性腐蚀技术研制了具有三维结构的微腔型传感器 ,微芯片 3× 6mm2 具有三维腔体 腔深 3 0 0μm,铂工作电极 1 。
4) micro-machining
微机械加工技术
1.
And the characteristics of etching technology, bulk micro-machining,surface micro machining and hybrid micro machining are summarized.
概述了GaAs微机械加工的刻蚀技术、体微机械加工技术和表面微机械加工技术的特点,对相应的GaAs微机械加工工艺进行了举例分析,并介绍了国内首次制作的GaAs基MEMS微结构,为GaAsMEMS的进一步发展奠定了基础。
2.
And the characteristics of bulk micro-machining, surface micro-machining and hybrid micro-machining are summarized.
阐明了微机电系统(MEMS)的学科内涵,概述了体微机械加工技术、表面微机械加工技术和复合微机械加工技术的特点,运用具体实例对三种硅基微机械加工技术的基本制作工艺过程进行了讨论。
6) microelectronic processing technique
微电子加工技术
补充资料:电加工
直接利用电能蚀除金属材料的加工方法。在电加工法中工具材料的硬度可低于加工零件的硬度,故可加工在航空航天工业中广泛使用的高强度、高韧性、高硬度和耐高温等难切削材料。电加工工具和零件始终保持一个加工间隙,不存在相互作用的机械力,因而适于加工精密、细小和薄壁易变形的形状复杂的零件。因此,电加工在飞行器制造中具有重要作用。电加工分为电解加工、电火花加工、电子束加工和离子束加工等。其中电解加工和电火花加工在航空航天工业中应用更广泛。
电解加工 利用金属在电解液中溶解的原理进行加工。它在飞行器制造中可以加工三维空间的型面(如航空发动机叶片和各种锻模的型腔)、异形孔(如内花键、内齿轮)、异形外表面(如整体叶轮的叶型)。如果在机床上加上适当的附件,还可加工弯曲孔、螺旋花键孔等。电解加工中除成型加工外,尚有电解去毛刺、电解抛光、电解磨削、电解珩磨等。电解去毛刺不仅可以减轻劳动强度,提高生产率,实现工序机械化、自动化,而且对于那些难以去毛刺的部位,如航空喷气发动机上火焰筒侧壁的孔边,就可用多个管状阴极同时插入孔内,去掉毛刺。
电火花加工 基于脉冲放电的腐蚀机理。工具和工件分别与脉冲电源两端相连接。电火花加工也利用成型电极进行仿形加工,适用于加工飞行器中各种精密零件的异形孔和涡轮叶片的冷却小孔等。电火花加工不同于电解加工的是工具电极要耗损,因而须精心选择低耗损的工具电极材料,合理设计电极尺寸和选择加工参数,以减小工具电极耗损对加工精度的影响。此外,由于电火花加工不像电解加工那样有明显的尖边倒圆现象,特别适合于加工有尖锐棱边的型孔。由于放电间隙很小,在加工过程中,工件和工具均不断被蚀除,间隙逐渐扩大,放电即会停止,因此成形加工机床必须具有高精度的伺服控制进给系统,使电极不断补偿进给和放电间隙自动地维持一个最佳值。
电火花线切割加工 线切割加工是用移动的线状电极丝,按预定的轨迹进行切割加工。坐标工作台纵、横拖板的运动采取数控。线电极切割能降低工具电极的成本,减少生产准备工时,同时又能节省金属材料,已广泛用于各种平板模具、样板和精密零件的微细孔、槽、异形孔的加工。
参考书目
《电解加工》编辑组编:《电解加工》,国防工业出版社,北京,1977。
电解加工 利用金属在电解液中溶解的原理进行加工。它在飞行器制造中可以加工三维空间的型面(如航空发动机叶片和各种锻模的型腔)、异形孔(如内花键、内齿轮)、异形外表面(如整体叶轮的叶型)。如果在机床上加上适当的附件,还可加工弯曲孔、螺旋花键孔等。电解加工中除成型加工外,尚有电解去毛刺、电解抛光、电解磨削、电解珩磨等。电解去毛刺不仅可以减轻劳动强度,提高生产率,实现工序机械化、自动化,而且对于那些难以去毛刺的部位,如航空喷气发动机上火焰筒侧壁的孔边,就可用多个管状阴极同时插入孔内,去掉毛刺。
电火花加工 基于脉冲放电的腐蚀机理。工具和工件分别与脉冲电源两端相连接。电火花加工也利用成型电极进行仿形加工,适用于加工飞行器中各种精密零件的异形孔和涡轮叶片的冷却小孔等。电火花加工不同于电解加工的是工具电极要耗损,因而须精心选择低耗损的工具电极材料,合理设计电极尺寸和选择加工参数,以减小工具电极耗损对加工精度的影响。此外,由于电火花加工不像电解加工那样有明显的尖边倒圆现象,特别适合于加工有尖锐棱边的型孔。由于放电间隙很小,在加工过程中,工件和工具均不断被蚀除,间隙逐渐扩大,放电即会停止,因此成形加工机床必须具有高精度的伺服控制进给系统,使电极不断补偿进给和放电间隙自动地维持一个最佳值。
电火花线切割加工 线切割加工是用移动的线状电极丝,按预定的轨迹进行切割加工。坐标工作台纵、横拖板的运动采取数控。线电极切割能降低工具电极的成本,减少生产准备工时,同时又能节省金属材料,已广泛用于各种平板模具、样板和精密零件的微细孔、槽、异形孔的加工。
参考书目
《电解加工》编辑组编:《电解加工》,国防工业出版社,北京,1977。
说明:补充资料仅用于学习参考,请勿用于其它任何用途。
参考词条