补充资料：gas filter (used in high purity gas system)

分子式：
CAS号：

性质：是依据碰撞、扩散和截获机理将气体中粒子过滤掉的装置。集成电路发展到兆位级后，对超净提出了更严格要求。SEMI标准对10/0.1级以管道供给的氮和氩气中规定≥0.1μm粒子≤0.4个/L；16M DRAM用气中大于0.1μm的粒子小于1个/L。在超高纯气体或电子气体供气系统中，为了脱除由于振动或气流冲击所造成的脱落粒子，应在阀门和配件下游和使用所前安装过滤器。粒子过滤器的选型及规格视气体控制规范而定。过滤器壳体一般采用316不锈钢，滤芯有烧结的多孔金属滤芯，耐腐蚀耐热的镍基合金，100%镍合金，铝陶瓷，Teflon膜，陶瓷膜等。

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