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1)  the degree of unevenness of the surface
表面不平度
2)  Wafer flatness
硅片表面不平度
3)  contacting surface asperity
接触表面不平度
4)  surface irregularity
表面微观不平度
1.
Contrast tests were carried out between two dimensional ultrasonic grinding and common grinding under different processing parameter for nano-ZrO_2 ceramics and the main factors were analyzed that effect the surface irregularity of nano-ZrO_2 ceramics during two dimensional ultrasonic grinding.
介绍了一种新型二维超声磨削方法及其磨削系统的加工特性,并以表面微观不平度分析了二维超声磨削方法对纳米氧化锆陶瓷磨削的优越性。
5)  roughness [英]['rʌfnis]  [美]['rʌfnɪs]
[表面]粗糙度,不平度
6)  Measurement of Ground Surface Roughness on Engineering
工程地表面不平度测量
1.
System Research for the Measurement of Ground Surface Roughness on Engineering;
工程地表面不平度测量系统的研究
补充资料:平度
1.平和的法度。 2.指日月分别在二分(春分﹑秋分)﹑两弦(上弦﹑下弦)时运行的均平之度。
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参考词条