1)  CFD-ACE
CFD-ACE
2)  CFD-ACE+
CFD-ACE+
1.
Four parameters,including chamber radius,chamber height,inlet radius,and inlet mass flow,are arranged regression orthogonally to study the two-dimensional flow field models of the processing chamber of the ICP etcher,which was built in the commercial software,CFD-ACE+.
为研究感应耦合等离子体(ICP)刻蚀机工艺腔室结构对流场特性的影响,采用回归正交设计方法对腔室半径、腔室高度、进气口半径以及进气流量4个设计参数进行试验设计,利用商业软件CFD-ACE++建立ICP刻蚀机工艺腔室二维流场仿真模型。
3)  CFD-ACE+ software
CFD-ACE+软件
1.
The processes of heat conduction and diffusion are simulated by using CFD-ACE+ software.
利用CFD-ACE+软件对芯片的热传导过程进行了数值模拟。
补充资料：2-Methoxycarbonylmethoxyimino-2-(2-aminothiazole-4-yl)ace-tie acid
分子式：C8H9N3O5S
分子量：暂无
CAS号：暂无

性质：暂无

制备方法：暂无

用途：有机中间体。

说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。