1) ECR CVD system
ECR CVD系统
2) microwave ECR CVD
微波ECR-CVD
4) ECR source
ECR源
1.
A compact ECR source with a unique magnetic field configuration is described.
建立了 1台紧凑型强流ECR源。
5) UHV/CVD system
UHV/CVD系统
6) electron cyclotron resonance deposition
ECR镀膜
补充资料：CVD method activated carbon fiber
分子式：
CAS号：
性质：由化学气相沉积法碳纤维而得的纤维。纤维直径0.5～1.0μm，形状长宽比为100～1000，电阻率1.0×10-3Ω·cm，结晶性良，纯度高，微孔径分布范围窄，均一性优良。原料采用乙烯，载体气体为氢气，在氢中的原料浓度为5%（vol），触媒粒子为二茂铁，用10.59μm的CO2激光照射，在常压下的石英反应器中滞留1h，便制得气相法碳纤维，再于1000℃的CO2中活化20min而得产品。用途为各种吸附剂和电子材料。
CAS号：
性质：由化学气相沉积法碳纤维而得的纤维。纤维直径0.5～1.0μm，形状长宽比为100～1000，电阻率1.0×10-3Ω·cm，结晶性良，纯度高，微孔径分布范围窄，均一性优良。原料采用乙烯，载体气体为氢气，在氢中的原料浓度为5%（vol），触媒粒子为二茂铁，用10.59μm的CO2激光照射，在常压下的石英反应器中滞留1h，便制得气相法碳纤维，再于1000℃的CO2中活化20min而得产品。用途为各种吸附剂和电子材料。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条