1) real-time forecast error correct
长光栅测量系统
2) rotating grating measuring system
圆光栅测量系统
1.
A permanent magnet DC moment electromotor drives the precision principal shaft with the graduator, and the rotation angle of the system is monitored by a rotating grating measuring system.
研制并开发了用于角度标定的高精密角度分度装置及其测量控制系统,装置采用永磁直流力矩电机驱动精密轴系主轴的运转来带动分度盘的转动,以圆光栅测量系统检测主轴的转动角度,为了实现角度的零误差分度定位控制,转动角度的分度控制采用了闭环自动控制系统。
4) Measuring System of Dual Grating
双光栅测量系统
6) grating length measurement
光栅测长
1.
According to Michelson interferometer reading system for the composition and work principles, use the grating length measurement technology to interferometer reading system for improving the implementation of the program.
根据迈克尔逊干涉仪读数系统的组成和工作原理,提出了利用光栅测长技术对干涉仪读数系统进行改进的实施方案。
2.
According to the composition and principle of the Michelson interferometer reading system,an implementation plan of the improvement of reading system has been proposed by the grating length measurement technology.
根据迈克尔孙干涉仪读数系统的组成和工作原理,提出了利用光栅测长技术对干涉仪读数系统进行改进的实施方案。
补充资料:长度计量技术:光栅测长技术
利用光栅產生的莫尔条纹测量位移和轮廓形状等的长度计量技术。测量位移时﹐将计量光栅副中的光栅尺和指示光栅分别固定在长度测量工具或机床等的移动件(例如滑架)和不动件(例如机床导轨)上。两者相隔一个很小的间隙(一般为 0.05~0.1毫米)。当滑架移动时﹐出现在光栅副上的莫尔条纹的週期性光强变化﹐通过光电转换元件转换为正弦波形电信号﹐经放大﹑整形﹑细分﹑计数和显示等电子部分后即可得出光栅位移量。由光源﹑计量光栅副和光电转换元件等组成的部件称为光栅式长度传感器。由光栅式长度传感器和放大﹑整形﹑细分﹑计数和显示等电子部分组成的系统称为光栅测量系统(见图 光栅测量系统 )﹐常用具有相位依次差1/4线距的四组线条的光栅作为指示光栅。当以圆光栅副代替长光栅副时﹐类似的测量系统可用於测量角位移。长﹑圆光栅测量系统的精确度分别可达 1微米/1000毫米和0.5/360°以上。随著光栅製造技术和电子技术的发展﹐从20世纪50年代开始应用光栅测长技术来测量位移。这种方法已用於三坐标测量机﹑数字显示工具显微镜﹑渐开线测量仪﹑齿轮单面嚙合检查仪和电子千分尺等的测量系统中﹐也常用於数字控制机床的定位反馈系统和其他机床的定位系统中。70年代又开始利用莫尔轮廓图测量表面轮廓形状和变形等。
说明:补充资料仅用于学习参考,请勿用于其它任何用途。
参考词条