2) metrology grating
计量光栅
1.
This paper presents a 2D precise platform with metrology grating as displacement measurement sensor.
研究了一种以计量光栅作为计量标准器的二维精密工作台,以实现表面轮廓测量中的X-Y方向的精确定位。
3) metrological grating
光栅计量
1.
Since the fifth of last century, with the development of the technology of grating scoring and electronics, as well as the computer science, metrological grating technique has became a special technology and developed rapidly.
然而随着计量测试技术的发展和实际应用要求的不断提高,更高分辨率和更简便易行的光电角度精密测量装置有了新的市场需求,光栅计量技术也需适应市场要求而需不断发展。
4) rotating grating measuring system
圆光栅测量系统
1.
A permanent magnet DC moment electromotor drives the precision principal shaft with the graduator, and the rotation angle of the system is monitored by a rotating grating measuring system.
研制并开发了用于角度标定的高精密角度分度装置及其测量控制系统,装置采用永磁直流力矩电机驱动精密轴系主轴的运转来带动分度盘的转动,以圆光栅测量系统检测主轴的转动角度,为了实现角度的零误差分度定位控制,转动角度的分度控制采用了闭环自动控制系统。
5) Incremental circular gratings
增量式圆光栅
6) nano metrological grating
纳米计量光栅
补充资料：长度计量技术：光栅
用玻璃﹑树脂或金属製成的表面具有密集等宽等距线条的光学元件。光栅分为衍射光栅和计量光栅两种。衍射光栅主要用於光谱分析﹔计量光栅用於长度测量。光栅上的线条是用金刚石刀或光刻法刻製在玻璃或金属面上的﹐也常将已经刻製好的光栅复製在树脂或玻璃上和採用全息照相法製造衍射光栅。
衍射光栅 每毫米约有 300～1200条线(刻製)和1200～3600条线(全息照相)的玻璃或树脂製的光栅。它是光栅光谱仪的主要光学元件﹐用於分析岩石﹑矿物和合金等的化学成分。分析方法是﹕以被分析物为电极產生电弧光﹐经光学準直系统(见直线度测量)后射向衍射光栅。衍射光栅把电弧光分解为一束束单色平行光。将它与各种化学元素的谱线相比较即可知道被测物的化学成分。衍射光栅也常用於分析天文光谱等。
计量光栅 每毫米约有 20～125条线的玻璃或金属製的尺子或圆盘(图1 计量光栅 )。
玻璃光栅用於透射式光栅测量系统﹔金属光栅用於反射式光栅测量系统(见光栅测长技术)。尺子称为光栅尺或长光栅﹔圆盘称为光栅盘或圆光栅。由长的和短的光栅尺各一块组成的光栅副称为计量光栅副﹐其中短的一块称为指示光栅。把指示光栅按线条方向相对光栅尺交叉一个很小的角度后﹐在垂直於线条方向会出现明暗相间的条纹﹐即所谓莫尔条纹(图2 莫尔条纹 )。
当光栅尺相对指示光栅移动一个线距时﹐莫尔条纹也会相应地移动一个条纹距离﹐即莫尔条纹本身產生一次明暗的光强变化。当光栅尺与指示光栅发生连续的相对移动时﹐莫尔条纹的光强会產生近似正弦波的週期性变化。莫尔条纹是一种光学放大现象。它的间距远大於光栅线条间距(约放大 1/倍﹐以弧度表示)。因此可方便地利用光电转换元件把莫尔条纹的光强变化转换为电信号﹐通过电子线路计算出光栅尺的位移量。以同样方法也可利用圆光栅副测量角位移。
莫尔一词源於法语moir。有一种法国水绸(watered silk)又称莫尔绸(moirsilk)。它摺叠起来会出现类似波纹状的花样。莫尔条纹现象是英国人瑞利於1874年发现的。初时应用於检验光栅刻製质量。由於技术条件限制﹐直至20世纪50年代初才开始应用於光栅测量系统。
衍射光栅 每毫米约有 300～1200条线(刻製)和1200～3600条线(全息照相)的玻璃或树脂製的光栅。它是光栅光谱仪的主要光学元件﹐用於分析岩石﹑矿物和合金等的化学成分。分析方法是﹕以被分析物为电极產生电弧光﹐经光学準直系统(见直线度测量)后射向衍射光栅。衍射光栅把电弧光分解为一束束单色平行光。将它与各种化学元素的谱线相比较即可知道被测物的化学成分。衍射光栅也常用於分析天文光谱等。
计量光栅 每毫米约有 20～125条线的玻璃或金属製的尺子或圆盘(图1 计量光栅 )。
玻璃光栅用於透射式光栅测量系统﹔金属光栅用於反射式光栅测量系统(见光栅测长技术)。尺子称为光栅尺或长光栅﹔圆盘称为光栅盘或圆光栅。由长的和短的光栅尺各一块组成的光栅副称为计量光栅副﹐其中短的一块称为指示光栅。把指示光栅按线条方向相对光栅尺交叉一个很小的角度后﹐在垂直於线条方向会出现明暗相间的条纹﹐即所谓莫尔条纹(图2 莫尔条纹 )。当光栅尺相对指示光栅移动一个线距时﹐莫尔条纹也会相应地移动一个条纹距离﹐即莫尔条纹本身產生一次明暗的光强变化。当光栅尺与指示光栅发生连续的相对移动时﹐莫尔条纹的光强会產生近似正弦波的週期性变化。莫尔条纹是一种光学放大现象。它的间距远大於光栅线条间距(约放大 1/倍﹐以弧度表示)。因此可方便地利用光电转换元件把莫尔条纹的光强变化转换为电信号﹐通过电子线路计算出光栅尺的位移量。以同样方法也可利用圆光栅副测量角位移。 莫尔一词源於法语moir。有一种法国水绸(watered silk)又称莫尔绸(moirsilk)。它摺叠起来会出现类似波纹状的花样。莫尔条纹现象是英国人瑞利於1874年发现的。初时应用於检验光栅刻製质量。由於技术条件限制﹐直至20世纪50年代初才开始应用於光栅测量系统。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条