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1)  Micro force sensors/actuators
微力传感器/执行器
2)  Sensoriactuator
传感执行器
1.
The Investigation of Multi-Piezoelectric Effect and the Application on Sensoriactuators;
多次压电效应探析及在传感执行器上的应用基础研究
3)  actuator/sensor
传感器/执行器
4)  Sensor and Performer
传感器与执行器
5)  microforce sensor
微力传感器
1.
Microforce Sensors Based on Microcantilevers with Two Piezoelectric PZT Thin-Film Elements;
基于双压电PZT薄膜单元的悬臂梁式微力传感器研究
2.
A novel microforce sensor with microcantilever structure based on PT/PZT/PT piezoelectric thin films is proposed.
提出了一种基于PT/PZT/PT压电薄膜微悬臂梁结构的微力传感器。
6)  micro force sensor
微力传感器
1.
A novel three-dimensional micro force sensor based on MEMS technology was developed in symmetry of structure.
开发了一种基于MEMS技术制作的三维微力传感器,传感器为完全对称结构,由4根垂直放置和1根悬臂放置的硅梁连接而成。
2.
As a micro force sensor,a non capsulated 1MHz extension quartz resonator is damped by hydrodynamic forces when approaching an object.
以谐振频率为 1MHz的未封装伸长型晶振作为微力传感器逼近样品表面 ,在此过程中晶振受到流体阻尼 ,其振动特性发生变化 ,通过检测振动幅值的变化即可获得样品表面形貌信息。
3.
A square structure 3 dimentional micro force sensor by using silicon semiconductor is developed and could be changed into a 5 dimentional micro force sensor by only a small modifying.
采用硅基应变片设计了一种可用于精密微装配作业过程,检测x、y、z方向微接触力的三维微力传感器;经微小改动后,该传感器可成为五维微力传感器。
补充资料:变压器式传感器
      利用变压器作用原理把被测位移转换为初、次级线圈互感变化的变磁阻式传感器。它由两个或多个带铁心的线圈构成,初、次级线圈间的互感能随衔铁或两个线圈间的相对移动而改变。当用适当频率的电压激励初级线圈时,次级线圈的输出电压将随互感的改变而变化,从而将被测位移转换为电压输出。这种传感器在使用中常采取两个同名端串接的次级绕组线圈,以差动方式输出,所以又称为差动变压器式传感器。变压器式传感器的特点与电感式传感器相同,有时亦称电感式传感器。但变压器式传感器在设计上具有更大的灵活性,应用更为广泛。旋转变压器、感应同步器、自整角机都属于变压器式传感器。变压器式传感器主要用于测量位移和能转换成位移量的力、张力、压力、压差、加速度、应变、流量、厚度、比重、转矩等参量。
  

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