1) UEV
UEV
2) UEV(ultrasonic elliptic vibration)
超声椭圆振动
1.
Based on a developed UEV(ultrasonic elliptic vibration)-CMP(chemical mechanical polishing) hybrid polishing system used for silicon wafer,the experimental investigation of the effect of controllable process parameters(i.
在研制超声椭圆振动-化学机械复合抛光硅片实验装置基础上,进一步开展了抛光压力P,抛光点速度v及抛光液供给量Q等可控工艺参数对硅片抛光表面粗糙度、表面形貌和材料去除率影响的有无超声椭圆振动辅助抛光的对比实验研究。
补充资料：椭圆振动筛
分子式：
CAS号：
性质：振动筛是一种较新式的筛分机械。振动筛的筛分效率及单位面积筛网产量高，动力消耗低，筛网不易堵塞，构造简单，操作方便。振动筛分为：惯性振动筛、偏心振动筛、凸轮打击振动筛、球簸筛以及电磁振动筛等。椭圆振动筛属于惯性振动筛中的一种，它是利用不平衡重锤高速旋转时所产生的惯性力使支承在弹簧支座上的筛机产生高频椭圆形振动，而筛分物料。附图为此种振动筛的原理示意图。
CAS号：
性质：振动筛是一种较新式的筛分机械。振动筛的筛分效率及单位面积筛网产量高，动力消耗低，筛网不易堵塞，构造简单，操作方便。振动筛分为：惯性振动筛、偏心振动筛、凸轮打击振动筛、球簸筛以及电磁振动筛等。椭圆振动筛属于惯性振动筛中的一种，它是利用不平衡重锤高速旋转时所产生的惯性力使支承在弹簧支座上的筛机产生高频椭圆形振动，而筛分物料。附图为此种振动筛的原理示意图。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。