补充资料：光学薄板玻璃

光学薄板玻璃
optical thin sheet glass

光学薄板玻璃。ptieal thsn sheet glass用于光学、电子学领域的平板玻璃。主要用作大规模集成电路的光掩膜板、液晶显示器面板、影象光盘等。 性能要求实际应用中，对光学薄板玻璃的性能要求有以下4点。 ①光透过率高。用于液晶显示器的薄板玻璃要求可见区的高透过，光掩膜板的玻璃还要求对光刻光源的高透过。随着集成度的增加，为提高分辨率，光刻波长向短波方向移动，要求玻璃在250一400nm的紫外区具有高透过率。 ②化学性能稳定。除防止在洗涤、蚀刻过程中各种介质对玻璃的腐蚀外，特别要防止玻璃中易迁移的碱金属离子在光刻焙烧过程中向表面扩散，从而与金属膜反应，出现腐蚀速度差别而形成针孔。碱金属从表面溶出同样损坏液晶显示器玻璃表面的导电膜，污染液晶。为避免这种现象发生，有时在玻璃表面涂敷5102膜层。 ③尺寸稳定。低膨胀系数的玻璃可以减少光刻过程中因温升而引起的尺寸变化。同时希望玻璃本身不出现明显的时效现象，以免光掩膜板在制造后的放置时间内，出现连续的尺寸变化。 ④光学均匀性好，缺陷少，以免影响分辨率。对用于大尺寸基板玻璃，如影视光盘、大尺寸显示器，对其机械强度、表面硬度等方面的性能要求更高。 种类光学薄板玻璃主要有以下5种。①钠钙玻璃:用于早期光刻中的母板、亚母板和工作板。其组成和物理化学性质与一般建筑平板玻璃相同。②白冕玻璃:一种透过率高的冕牌玻璃。折射率1.52，膨胀系数94 x 10一弋一‘，具有较好的紫外透过和不易形成针孔等优点。③棚硅酸盐玻璃:膨胀系数48x10一飞一‘，具有低的针孔密度和高紫外透过等特点，获得广泛应用。④铭硅酸盐玻璃:膨胀系数37x10一飞一’，硬度大，机械强度高，不含或仅含少量碱金属氧化物，即使不涂敷5102薄膜，也不会出现碱金属选择溶出的现象。是目前使用最多的一种玻璃。⑤石英玻璃:具有高的紫外透过(250nrn)和低的膨胀系数(5 x 10一弋一‘)。多用于高集成度、远紫外光刻，尤其是亚微米光刻。 制造工艺光掩膜板、光盘所用的平板玻璃对表面平整度的要求在微米到几十微米内，只能通过精密抛光工艺制成。液晶显示器面板的厚度取决于屏幕尺寸，超薄板仅0.05mm，多数为0.5一lmm，使用不经研磨和抛光的原板。高平整度薄板玻璃的成型常采用以下3种方法。①溢流法:熔融、澄清、冷却后的玻璃液进入溢流槽，从溢流槽溢出后向下拉制，或再进入熔融锡槽进行抛光以增加表面平整度。这种方法的缺点是，玻璃液流经溢流槽时受到污染而影响光学均匀性。

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