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1)  MEMS processing technology
MEMS工艺技术
1.
This paper applied MEMS processing technology to make sensor component and special dielectric isolation packaging process,developed pressure sensor;and produced several technical innovations on cavity inner filling frame,oil filled location and corrugated diaphragm,which improved product s filter pulse pressure,anti-over loading,and temperature factor.
运用MEMS工艺技术制作的敏感元件和介质隔离特殊封装工艺,研制出压力传感器。
2)  C-MEMS technology
C-MEMS工艺
1.
Fabricating biochip carbon microelectrodes by C-MEMS technology;
生物芯片碳微电极的C-MEMS工艺研究
3)  MEMS technology
MEMS工艺
1.
A membrane structure for gas sensor based on MEMS technology is presented,and the technology for the gas sensor are showed.
提出了一种基于MEMS工艺的薄膜型气敏元件结构,对其工艺进行了阐述。
4)  MEMS
MEMS工艺
5)  MEMS process
MEMS工艺
1.
Here,we introduce a new MEMS process-EFAB process, and use it to design a micro-coil antenna for implantable RFID.
首先说明可植入RFID天线设计的基本参数要求,然后介绍一种标准的MEMS工艺——EFAB工艺,并利用该工艺标准的设计规则进行可植入RFID天线的结构设计,最后通过仿真验证该线圈天线符合可植入RFID的工作要求。
2.
A kind of high temperature micro pressure sensor based on model identification using this method is introduced, which is realized by MEMS process.
传感器件由MEMS工艺来实现,信号激励与信号处理由计算机来完成。
6)  CMOS MEMS
CMOS MEMS工艺
1.
As the improvement of the CMOS MEMS process, people are putting more efforts on the sensors on chip, which have the virtue of small volume, low power, and high sensitivity, cheap, portable.
随着CMOS MEMS工艺的进步,人们努力尝试采用这种工艺来制作传感器,这种传感器体积小、功耗低、灵敏度高、携带方便;而且可以批量生产降低成本。
补充资料:快速成型技术的原理、工艺过程及技术特点

快速成型属于离散/堆积成型。它从成型原理上提出一个全新的思维模式维模型,即将计算机上制作的零件三维模型,进行网格化处理并存储,对其进行分层处理,得到各层截面的二维轮廓信息,按照这些轮廓信息自动生成加工路径,由成型头在控制系统的控制下,选择性地固化或切割一层层的成型材料,形成各个截面轮廓薄片,并逐步顺序叠加成三维坯件.然后进行坯件的后处理,形成零件。


    快速成型的工艺过程具体如下:



    l )产品三维模型的构建。由于 RP 系统是由三维 CAD 模型直接驱动,因此首先要构建所加工工件的三维CAD 模型。该三维CAD模型可以利用计算机辅助设计软件(如Pro/E , I-DEAS , Solid Works , UG 等)直接构建,也可以将已有产品的二维图样进行转换而形成三维模型,或对产品实体进行激光扫描、 CT 断层扫描,得到点云数据,然后利用反求工程的方法来构造三维模型。 



    2 )三维模型的近似处理。由于产品往往有一些不规则的自由曲面,加工前要对模型进行近似处理,以方便后续的数据处理工作。由于STL格式文件格式简单、实用,目前已经成为快速成型领域的准标准接口文件。它是用一系列的小三角形平面来逼近原来的模型,每个小三角形用 3 个顶点坐标和一个法向量来描述,三角形的大小可以根据精度要求进行选择。 STL 文件有二进制码和 ASCll 码两种输出形式,二进制码输出形式所占的空间比 ASCII 码输出形式的文件所占用的空间小得多,但ASCII码输出形式可以阅读和检查。典型的CAD 软件都带有转换和输出 STL 格式文件的功能。 



   3 )三维模型的切片处理。根据被加工模型的特征选择合适的加工方向,在成型高度方向上用一系列一定间隔的平面切割近似后的模型,以便提取截面的轮廓信息。间隔一般取0.05mm~0.5mm, 常用 0.1mm 。间隔越小,成型精度越高,但成型时间也越长,效率就越低,反之则精度低,但效率高。




    4 )成型加工。根据切片处理的截面轮廓,在计算机控制下,相应的成型头(激光头或喷头)按各截面轮廓信息做扫描运动,在工作台上一层一层地堆积材料,然后将各层相粘结,最终得到原型产品。



    5 )成型零件的后处理。从成型系统里取出成型件,进行打磨、抛光、涂挂,或放在高温炉中进行后烧结,进一步提高其强度。


    快速成型特术具有以下几个重要特征: 


说明:补充资料仅用于学习参考,请勿用于其它任何用途。
参考词条