1) chemical-MEMS
化学MEMS
2) bio-MEMS device
生化MEMS器件
3) MEMS design methodology
MEMS设计方法学
5) 3DX-MEMS
3D-MEMS
6) MEMS membrane
MEMS膜
1.
Analysis for MEMS membrane switch using torsion spring and leverage;
扭转臂杠杆式MEMS膜开关的分析
补充资料：工程化学障碍物(见化学障碍物)
工程化学障碍物(见化学障碍物)
engineering-chemical obstacle
习U·上日、11匕I一9 nuQXue Zhang’aiwu工程化学障碍物(engineelsng一ehemiealobstacle)见化学障碍物。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条