1) autofocussensor
自聚焦探测器
2) Auto-focusing detecting
自动聚焦探测
3) Focus detection
聚焦探测
1.
A novel optical stylus profilometer based on dynamic focus detection is introduced.
介绍了一种新型的基于动态聚焦探测法的光学轮廓仪，该仪器可实现表面形貌的快速、非接触测量，其最大测量范围为５００μｍ，最小分辨率可达１０ｎｍ。
2.
A focus tracing sensor based on focus detection for measuring surface topography is introduced.
介绍了一种新型的基于聚焦探测法的自动焦点跟踪传感器,该传感器可实现表面形貌的快速、非接触测量,其测量范围为500 μm ,分辨率可达3 nm ;详细地描述了该传感器的工作原理、关键技术的实现及其应用。
4) Optical focus detection
光聚焦探测
5) autofo-cusing probe
自动聚焦探头
6) Foucault focus detection method
傅科聚焦探测法
1.
The work principle of the non-contact probe is based on a Foucault focus detection method,and contact measurement is found on inductance sensor with micro-force.
介绍了一种新型的接触与非接触两用传感器,该传感器的非接触测量方式是基于改进傅科聚焦探测法原理,而接触测量方式则是基于微恒力电感测量原理。
补充资料：光束自聚焦
强激光束通过非线性介质时会自动会聚成一条或数条细丝的现象。20世纪60年代中期，实验发现当几兆瓦的强激光束聚焦后通过某些固体就能使之受到损伤，并留下直径只有几微米的长条伤痕。后来知道这些长条伤痕正是光束发生自聚焦造成的。细丝可长达几厘米，但直径往往只有几微米且近乎不变。细丝的光强很强，可达1010W/cm2或更高。此外，尽管入射光是单色的，但细丝处的光却具有大于100cm-1的光谱宽度，伴随自聚焦出现的这个现象称为光束自加宽。后来发现，自聚焦在液体和气体中是同样存在的。同时,都存在一定的阈值,只有当入射光强高于该阈值时自聚焦才会发生。
光束自聚焦是一种重要的三阶非线性光学效应根源是介质感应折射率的变化与通过介质的光强成正比（见非线性光学）。已知，在很多情况下激光光强在其光束截面上的分布是不均匀的，而往往呈高斯分布。由于中心部分光强强，折射率增加也大；边缘部分光强弱，折射率增加也小。折射率在光束截面上这种不均匀性的后果,是光在中心部分的相速度小于边缘部分。因而,原来的波阵面就发生了畸变,波阵面的中心部发生凹陷,根据光线总是垂直于波阵面的原则，光束走了一段距离后就要自动聚焦到一点。
自聚焦不仅要求介质有足够大的非线性系数，而且光强要足够强。因此一般都要用脉冲激光。这时又可工作在两种不同的状态，即准稳态和瞬态，分别相应于脉宽较介质折射率发生变化的响应时间大得多或小得多这两种情况。激光束经非线性介质自聚焦后为什么会成为一条丝而不是一个光点，对于上述两种工作状态，进一步的解释是有所不同的。
光脉冲有一定的波形，其前沿、中心和后沿各部位不仅强度不同，通过介质的时间也不同。在准稳态工作时，光脉冲的任何部位在介质中折射率的大小，是由当时这部位光的强度决定的。于是，由于不同时间通过介质的是光脉冲的不同部位，因而光束截面中心部分折射率与边缘部分的差值也因光束通过的时间不同而有差异。其后果是，不同时间通过介质的光束，尽管属于同一个光脉冲，但却自聚焦在不同位置上，看上去像是一条细丝。计算表明，几纳秒脉宽的光脉冲，焦点随时间的移动可达10cm以上。
在瞬态工作时，光脉冲的后沿部位通过介质时，所遇到的是前沿部位通过时已造成的折射率的变化。情况就更加复杂。但同样可以满意地解释细丝的形成。
光束自聚焦后，在焦点附近的局域光强很强，会进一步产生感应折射率的变化。另一方面，聚焦的焦点又随时间快速运动。因而激光束本身的位相也在经历着快速的变化。这表现为光束的自调制效应。位相调制的直接结果就是光谱增宽。这正是实验观察到的在细丝区域的自加宽效应。
若介质的折射率不是随光强的增加而增加，而是随光强的增加而减小，根据上面的论述，会得到光束自散焦效应。
自聚焦是光学材料受激光损伤的主要原因，光束自聚焦的机理研究为克服或避免材料损伤提供了有效的途径。光束自聚焦又可在一定区域内大幅度增加激光的功率密度,使人们可以在一般强度的激光源条件下,去研究并获得必须在强光条件下才能出现的一些光学效应（例如受激散射效应）。自聚焦的研究也有助于人们对三阶非线性极化的特性及其有关效应的了解。
参考书目
M.Hercher,J.Opt.Soc.Am.,Vol.54,p.563,1964.
M.M.T.Loy and Y.R.Shen, IEEE J.Q.E., Vol.QE-9. p.409, 1973.
G.K.L.Wong and Y.R.Shen, Phys. Rev., Vol.32,p. 527, 1974.
光束自聚焦是一种重要的三阶非线性光学效应根源是介质感应折射率的变化与通过介质的光强成正比（见非线性光学）。已知，在很多情况下激光光强在其光束截面上的分布是不均匀的，而往往呈高斯分布。由于中心部分光强强，折射率增加也大；边缘部分光强弱，折射率增加也小。折射率在光束截面上这种不均匀性的后果,是光在中心部分的相速度小于边缘部分。因而,原来的波阵面就发生了畸变,波阵面的中心部发生凹陷,根据光线总是垂直于波阵面的原则，光束走了一段距离后就要自动聚焦到一点。
自聚焦不仅要求介质有足够大的非线性系数，而且光强要足够强。因此一般都要用脉冲激光。这时又可工作在两种不同的状态，即准稳态和瞬态，分别相应于脉宽较介质折射率发生变化的响应时间大得多或小得多这两种情况。激光束经非线性介质自聚焦后为什么会成为一条丝而不是一个光点，对于上述两种工作状态，进一步的解释是有所不同的。
光脉冲有一定的波形，其前沿、中心和后沿各部位不仅强度不同，通过介质的时间也不同。在准稳态工作时，光脉冲的任何部位在介质中折射率的大小，是由当时这部位光的强度决定的。于是，由于不同时间通过介质的是光脉冲的不同部位，因而光束截面中心部分折射率与边缘部分的差值也因光束通过的时间不同而有差异。其后果是，不同时间通过介质的光束，尽管属于同一个光脉冲，但却自聚焦在不同位置上，看上去像是一条细丝。计算表明，几纳秒脉宽的光脉冲，焦点随时间的移动可达10cm以上。
在瞬态工作时，光脉冲的后沿部位通过介质时，所遇到的是前沿部位通过时已造成的折射率的变化。情况就更加复杂。但同样可以满意地解释细丝的形成。
光束自聚焦后，在焦点附近的局域光强很强，会进一步产生感应折射率的变化。另一方面，聚焦的焦点又随时间快速运动。因而激光束本身的位相也在经历着快速的变化。这表现为光束的自调制效应。位相调制的直接结果就是光谱增宽。这正是实验观察到的在细丝区域的自加宽效应。
若介质的折射率不是随光强的增加而增加，而是随光强的增加而减小，根据上面的论述，会得到光束自散焦效应。
自聚焦是光学材料受激光损伤的主要原因，光束自聚焦的机理研究为克服或避免材料损伤提供了有效的途径。光束自聚焦又可在一定区域内大幅度增加激光的功率密度,使人们可以在一般强度的激光源条件下,去研究并获得必须在强光条件下才能出现的一些光学效应（例如受激散射效应）。自聚焦的研究也有助于人们对三阶非线性极化的特性及其有关效应的了解。
参考书目
M.Hercher,J.Opt.Soc.Am.,Vol.54,p.563,1964.
M.M.T.Loy and Y.R.Shen, IEEE J.Q.E., Vol.QE-9. p.409, 1973.
G.K.L.Wong and Y.R.Shen, Phys. Rev., Vol.32,p. 527, 1974.
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
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