1)  N+ ion implantation
氨离子注入
2)  ammonium ion
氨离子
3)  N+ ion beam
氨离子束
4)  Ammonium Concentration
氨离子浓度
5)  Sensibilized NH_3 selective electrode
敏化氨离子选择气敏电极(NH3-ISE)
补充资料:离子注入(ionimplantation)
离子注入(ionimplantation)

用离子加速器将各种离子注入半导体材料,从而改变半导体材料的电学、光学或其他物理性质的半导体工艺技术,称为离子注入技术。自从20世纪70年代以来离子注入技术在半导体器件制备工艺中获得了广泛应用,是半导体器件工艺的最主要技术之一。

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