1) Very large Array
甚大阵
2) very large array telescope
甚大阵望远镜
3) Shenda(甚大)
“甚大”
4) very large telescope
甚大望远镜
5) ULSI
甚大规模集成
6) ULSI
甚大规模集成电路
1.
Investigation on the Final Polishing of Silicon Substrate in ULSI;
甚大规模集成电路制备中硅衬底精密抛光的研究
2.
The copper chemical-mechanical polishing (CMP) which is the key planarization technology for ULSI manufacturing was discussed.
对用于甚大规模集成电路(ULSI)制造的关键平坦化工艺———铜化学机械抛光(CMP)技术进行了讨论。
参考词条
补充资料：甚大天线阵
| 甚大天线阵 Very-Large Array 世界上最大的综合孔径射电望远镜。简称甚大阵，常用VLA表示。1981年建成于美国新墨西哥州圣阿古斯丁平原，属美国国立射电天文台。它由27面直径25米的抛物面天线组成，Y型排列，每臂长21千米。有3种组合模式，最长基线为36千米。可在6个波段工作，并可作圆偏振（左旋和右旋）和线偏振测量。在厘米波段，最高空间分辨率达角秒量级，与地面光学望远镜的分辨率相当；灵敏度比世界上其他射电望远镜高一个量级；成像时间8～10小时。根据观测要求，可分别作连续谱、射电谱线和甚长基线干涉测量的观测研究工作。 |
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