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1) CAM lithography machine
CAM光刻机
2) lithography
[英][lɪ'θɔɡrəfi] [美][lɪ'θɑgrəfɪ]
光刻机
1.
Design and Manufacture on Precision Positioning System of Wafer Stage for a Simulated Macro-motion System of Lithography;
用于光刻机模拟运动的精密工件台宏动定位系统研制
2.
Model Analysis on Inner-world Dynamics for the Simulated Vibration-isolation Testing Equipment of the Stepping and Scanning Lithography;
光刻机模拟隔振试验装置内部世界动力学模型分析
3.
Synchronization Error Analysis on Step & Scan Lithography;
光刻机模拟工件台掩模台同步运动误差分析
3) Photolithography equipment
光刻机
1.
Photolithography equipment, the bottleneck and the most expensive equipment in wafer fabrication, is comprised of serial cluster tools.
光刻机是半导体晶圆制造的瓶颈设备,其费用相当昂贵。
2.
The world semiconductor equipment market in the year 1999～2000, consist of the equipment investment, the photolithography equipment and the wiring shaping equipment are introduced.
介绍了１９９９ ～２０００ 年世界半导体设备市场，包括设备投资、光刻机和布线形成设备。
4) lithographic tool
光刻机
1.
A novel method for measuring the non-orthogonality of the interferometer system in a step and scan lithographic tool is presented.
提出一种精确检测光刻机激光干涉仪测量系统非正交性的新方法。
2.
A novel in-situ non-flatness measurement method of wafer chuck in step-and-scan projection lithographic tool is presented.
提出一种步进扫描投影光刻机承片台不平度检测新技术。
3.
A novel in-situ non-flatness measurement method of wafer stage mirrors in a step-and scan lithographic tool is presented.
提出一种新的步进扫描投影光刻机工件台方镜不平度测量方法。
5) 193 nm lithography equipment
193nm光刻机
6) 157 nm F2 stepper
157nmF2光刻机
补充资料：CAD/CAM技术应用状况
本文就以汽车工业为例，说明国内外机械CAD/CAM技术的应用状况。
1、 CAD/CAM技术应用状况
汽车工业代表着一个国家机械制造业发展的水平，一直是CAD/CAM技术应用的先锋和大户。下面就以汽车工业为例，说明国内外机械CAD/CAM技术的应用状况。
国际上，美国福特汽车公司在CAD/CAM技术方面处于领先地位。早在80年代初，福特公司就着手CAD/CAM系统的规划，建成了以工作站为主体的环形网络系统；1985年已经有一半以上的产品设计工作使用图形终端实现；1986年新开发的TAURUS和SABLE轿车，大约70%的外板件采用CAD/CAM;90年代初全面实行产品开发的CAD/CAM,应用率可达100%。福特公司1990年工作站已达2000台，以FGS工作站（约占70%）和CV工作台（约占18%）为主，其应用软件主要为自行开发的PDGS和CAD/CAM。1993年以后，福特汽车公司提出了C3P(CAD/CAE/CAM/PDM)概念，并决定今后将采用I-DEAS软件作为其主流核心软件。
日本三菱汽车公司1960年从冲模的NC数控加工着手，以CAD/CAE/CAM为动力，对从设计到制作的各项工程踏踏实实地进行了改革，至今，已形成了从车型款式设计到车身组装的新车型开发的完整的CAD/CAE/CAM系统。
法国雷诺汽车公司应用Euclid软件作为CAD/CAM的主导软件，目前已有95%的设计工作量用该软件完成，并开发出很多适合汽车工业需求的模块，如用于干涉检查的Megavision,用于钣金成形分析的OPTRIS等。
德国各大汽车公司普遍采用CATIA作为其CAD/CAM系统的主导软件。1994年，德国大众集团决定用CATIA和Pro/Engineer作为其将来开发新车型的主导CAD系统。
我国的CAD/CAM工作始于70年代，发展迅速，已取得了良好的经济效益。少数大型企业，如一汽、二汽等，已建立起比较完整的CAD/CAM系统，其应用水平也接近国际先进水平。许多中小企业应用CAD/CAM技术在保证产品质量、提高劳动率等方面也取得了显著的经济效益。但是总的说来，国内在CAD/CAM技术应用的深度和广度方面与国外先进水平相比还有很大差距。随着社会主义市场经济的发展，国有企业需要对传统的产品结构、生产设备和管理模式进行改造，以提高企业的活力和适应市场的应变能力，而采用CAD/CAM技术被认为是唯一的出路。
2、 CAD/CAM技术集成
2.1 集成化的意义
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条
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