1) silicon-based optical waveguide
硅基光波导
1.
Great progresses have been made for silicon-based optical waveguides and switches in the late decade.
ＳｉＯ２ 光波导、重掺杂光波导、ＳＯＩ光波导、合金光波导及聚合物光波导等低损耗硅基光波导的研究已取得了很大的进展，随着这些波导的硅基光开关不断研制出来，各种光开关结构也不断提出来了。
5) SiO_2/SiON-based silica optical waveguide
硅基二氧化硅/氮氧化硅光波导
6) GeSi-Si waveguide
锗硅光波导
补充资料：光波导
| 光波导 optical waveguide 由光透明介质(如石英玻璃)构成的传输光频电磁波的导行结构。光波导的传输原理是在不同折射率的介质分界面上，电磁波的全反射现象使光波局限在波导及其周围有限区域内传播。现代应用的光频的波长介于0.8～1.6微米之间。实用光波导有光导纤维、薄膜波导、带状波导3类。光导纤维的一个传输特性是衰减很小、频带很宽、抗电磁干扰，主要用于通信；光导纤维的另一传输特性是对外界的温度和压力等因素敏感，因而可制成光导纤维传感器，用于测量温度、压力、声场等物理量。薄膜波导与带状波导主要用于制作有源和无源的光波导元件，如激光器、调制器和光耦合器等。它们采用半导体薄膜工艺，适合于制成平面结构的集成光路(即光集成部件)。 |
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参考词条