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1)  gas number density and temperature
电子气体密度和温度
2)  Temperature and density of plasmas
等离子体的温度和密度
3)  Measurements of Electron Temperature and Density
电子温度和密度测量
4)  air density and temperature
大气密度和温度
1.
L625 Rayleigh scattering lidar made the measurements of air density and temperature over the altitudes of 30-43 km at Hefei (31.
17°E)地区 30~43 km高度范围内的大气密度和温度分布。
5)  electron density and electron temperature
电子温度与密度
6)  Bulk electron density
体电子密度
补充资料:电子气体
分子式:
CAS号:

性质:半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气、高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延、掺杂和蚀刻工艺;高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合,可分为电子级、LSI(大规模集成电路)级、VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路)级。硅烷、磷烷、乙硼烷、砷烷、二氯二氢硅等均属于电子气体。

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