补充资料：气相沉积法制粉

气相沉积法制粉
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态特征都有影响。 种类化学气相沉积法制粉，按化学反应原理分，有6种方法。 ①热分解法:适用于制取碳及高纯金属粉体。如 CH、(气)一C(固)+2H2(气) ②氢还原法:适用于制取硅、硼或耐热金属等粉体。如 SIC14(气)+ZH:(气)一51(固)+4 HCI(气) ③复合反应法:适用于制取氮化物陶瓷粉体。如 3 SIC14(气)+4 NH3一Si3N4(固)+12 HCI(气) ④氢还原复合反应法:适用于制备碳化物陶瓷粉体。如 3TICI、(气)+C3H:(气)+ZH:(气)一 3TIC(固)+12HCI(气)。 ⑤固相扩散法:适用于制备碳、氮、硼等化合物陶瓷粉体。如 Ti(固)+2 BC13(气)+3 HZ(气)一 TIB:(固)+6 HCI(气) ⑥置换扮‘:适用于制备氮化物陶瓷粉体。如 4 Fe(固)+2 TIC14(气)+N:(气卜一 ZTIN(固)+4FeC12(气) 此外，按照化学反应时的条件，通常又可分为常压化学气相沉积法、低压化学气相沉积法、热化学气相沉积法、等离子化学气相沉积法(见等离子气相合成法制粉)、间隙化学气相沉积法、激光化学气相沉积法(见激光合成法制粉)。 特点和应用化学气相沉积法制粉具有以下特点:可以在比材料熔点低的温度下进行材料合成;对两种以上元素构成的材料可以调整材料成分;可以控制材料形状(球状、纤维);粉末粒度一般可从微米级到亚微米级，在某些条件下可以达到纳米级。此外，还具有控制晶体结构、合成亚稳定态新材料等特点。 化学气相沉积法制备的粉末粒度小、活性大，适用于制作:①电器元件和材料，包括电容器、铁氧体材料、火花塞、压电振子、集成电路密封材料、热敏电阻、压敏电阻，压电点火元件等;②机械零件和材料，包括切削工具、磨削工具、机械密封材料、轴承，粉碎零件，耐磨衬里等;③化学器件.包括医疗器件、气体传感器、催化剂、催化剂载体、温度传感器等;④热物性制品，包括半导体热处理用具、隔热保温材料、发热元件等:⑤光学器件，包括荧光发光器件、发光管外层设备等。 (滕荣厚沈志坚郑国梁)气相沉积法制粉vapor deposition proCess toproduce powders通过各种方法给予气体原料以不同能量，使其产生非挥发性反应物而制备金属或陶瓷粉体。按制粉方法的原理分为物理蒸发冷凝法制粉和化学气相沉积法制粉。常用能量来源有等离子体和激光。应用最多的是化学气相沉积法制粉。 物理蒸发冷凝法制粉将一种粗颗粒粉末加热并使之汽化，然后再快速冷凝获得超细粉末。

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