2) Zone Back Pressure
区域压力控制
1.
This paper introduces research works of developed industry country on this key technology using for vacuum carrier-Zone Back Pressure which is used to mount wafers in CMP process, and then describes the development trend in the futu.
根据下一代IC对大尺寸硅片(≥300mm)面型精度和表面完整性的要求,分析了CMP(化学机械抛光)加工中大尺寸硅片夹持的关键之一—区域压力控制技术穴ZoneBackPressureControl雪,介绍了采用区域压力控制技术的必要性和理论基础,以及国内外研究现状和最新进展,并指出了该技术存在的问题与发展趋势。
3) areal average pressure
区域平均压力
4) stressful region
受到压力区域
5) pressure span
压力范围,压力区域
6) zonal compressive and tensile deformation
区域拉压
1.
Based on a great number of measured data, zonal compressive and tensile deformation mechanism of soft rock around roadway is proposed.
通过对大量现场实测资料的分析 ,给出了软岩巷道围岩区域拉压变形机制以及应用压缩区域自承能力和控制张拉域变形的支护原理 ,针对不同尺寸的张拉域和压缩域 ,提出了采用深锚和锚杆群组合作用的锚喷网支护方法 ,介绍了不同支护工艺下支护参数的计算与选择。
补充资料:区域经济规划(区域规划)
区域经济规划(简称区域规划)是区域经济发展战略的具体安排,是战略思想的细化。区域规划应当是区域经济发展战略指导下的区域和产业发展的详细的安排。它包括区域发展、产业发展、土地利用、城镇体系等多方面的内容。它与发展战略的主要区别在于,战略应是粗线条的、具有指导意义的纲领;规划应是细线条的,具有实施功能的安排。
说明:补充资料仅用于学习参考,请勿用于其它任何用途。
参考词条