1) RF tuned Langmuir single probe
射频调谐朗谬尔探针
2) Langmuir probe
朗谬尔探针
1.
Its characteristics and the uniformity of the plasma were studied with a Langmuir probe and other conventional probes.
本文运用朗谬尔探针方法诊断了放电等离子体的参量及其均匀性,运用发射光谱技术进行了Ar谱线[4s’(1/2)0-4p’(1/2)]的发光强度的表征,并使用自制的Rogowski线圈测量了天线中的射频电流变化。
2.
Langmuir probe has been used to diagnose microwave ECR unbalanced magnetron sputerring plasma.
利用朗谬尔探针诊断了ECR非平衡磁控溅射等离子体,给出了微观等离子体参量随宏观工艺参量变化关系。
3.
Diagnostic test with Langmuir probe of the electron cyclotron resonance (ECR) plasma source was modified to evaluate our lab built ECR plasma etching system.
利用朗谬尔探针对ECR等离子体进行了初步的诊断研究 ,测量了等离子体的单探针伏安特性并计算出电子温度 ,电子密度和等离子体电势等参量。
3) Langmuir single probe
朗谬尔单探针
4) Langmuir Probe Diagnostics
朗谬尔探针诊断
5) dobule Langmuir probes
朗谬尔双探针
6) langmuir frequency
朗谬尔频率
补充资料：谐谬
1.诙谐谬悠。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条