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1)  chemical ions
化学离子
2)  Ion chemistry
离子化学
3)  chemistry of aluminumion
铝离子化学
4)  ionization theory
离子化学说
5)  chemical ionzation source
化学离子源
6)  chemical-ion pump
化学离子泵
补充资料:等离子化学气相沉积
分子式:
CAS号:

性质:PCVD  化学气相沉积(CVD)法是制备无机材料,尤其是无机薄膜和涂层的一种重要手段。用等离子辅助CVD,可在较低的温度下沉积,涂层均匀不剥落。

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参考词条