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1)  KrF laser
可调谐KrF准分子激光器
2)  KrF excimer laser
KrF准分子激光器
1.
Study on precision machining Al_2O_3 by 248nm KrF excimer laser;
本文采用波长 2 4 8nm的KrF准分子激光器 ,对Al2 O3 陶瓷片的精密加工进行了研究 ,探讨了各种工艺参数对加工质量的影响规律。
3)  KrF laser amplifier
KrF准分子激光放大器
4)  KrF excimer laser
KrF准分子激光
5)  KrF excimer pulsed laser
KrF准分子脉冲激光
1.
AlN thin films with dominant crystalline structure were prepared on Si(111) substrate at low temperature (200℃) with a KrF excimer pulsed laser by varying the deposition conditions.
用KrF准分子脉冲激光在 2 0 0℃的Si(111)基板上通过改变制备条件 ,采用沉积后直接保温处理的方式制备出了具有不同择优取向的AlN薄膜 ,并得出了较高的处理温度和过长的时间不利于AlN相的形成的结论。
6)  pulsed KrF laser deposition
KrF准分子脉冲激光沉积
补充资料:准分子激光器
分子式:
CAS号:

性质:用激基复合物为工作介质时得到的脉冲式相干辐射光源。更恰当的名称应当是激基复合物激光器。典型的激光介质有稀有气体的卤化物(如Xe-Cl,KrF等)。发射波长在紫外区。

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参考词条