1) F-doped SiO_2
掺氟氧化硅
2) SiCOF film
氟碳掺杂的氧化硅薄膜
5) SiOF
含氟氧化硅
1.
Investigation of Low Dielectric Constant SiOF Films;
低介电常数含氟氧化硅薄膜的研究
6) SiO2F:Fluorided Silicon Oxide
二氧氟化硅
补充资料：掺掺
1.女手纤美貌。
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参考词条