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1)  gray scale mask method
变灰度掩模法
2)  gray-scale mask
灰度掩模
1.
Manufacturing circular grating with spatial light modulator s gray-scale mask;
基于空间光调制器的灰度掩模制作环形光栅
2.
Manufacturing system for gray-scale masks’ mask patterns’ making and technique study;
灰度掩模制作系统掩模图形的生成及工艺研究
3.
Based on a spatial light modulator(SLM) and the approximately linear relationship of exposure curves the approximately linear model of optical transmission coefficients of gray-scale masks has been established,and the accurately controlling strategies for precision of gray levels were given.
在基于空间光调制器(SLM)的灰度掩模并行制作方法中,基于曝光曲线的线性近似关系,建立了灰度掩模强度透过率的线性近似模型,给出了灰度掩模等级精度的精确控制策略。
3)  gray scale mask
灰度掩模
1.
The applications of gray scale mask technique in the fabrication of convex and concave microlens and hybrid refraction diffraction microlens are discussed.
讨论了制作适用于近场集成光学头中的凸形、凹形微透镜和折衍射复合微透镜的灰度掩模技术。
2.
Gray scale mask method is a novel way of fabricating binary optical elements.
灰度掩模法是一种新的二元光学器件制做方法。
4)  gray-scale transformation method
灰度变换法
5)  Mask distortion
掩模形变
6)  photomask distortion
掩模畸变
补充资料:光学掩模版
分子式:
CAS号:

性质: 在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位,以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构。

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