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1)  free standing structure
悬空微结构
1.
Fabrication of free standing structure using oxidized porous silicon as sacrificial layers;
用氧化多孔硅作牺牲层制备悬空微结构
2)  suspended configuration
悬空结构
1.
In this suspended configuration, the spiral coil of the micro-inductor was made in the plane that was parallel to the substrate.
利用MEMS工艺中的牺牲层技术制作了一种新型悬空结构微电感,在此悬空结构中,微电感的线圈制作在与衬底平行的平面上,线圈与衬底之间有立柱支撑;此新型微电感的高频性能较好,且其制作工艺流程简单,与集成电路工艺相兼容。
3)  cantilever bridge
微悬桥结构
1.
The structure of micro cantilever bridge, the photolithographic mask and the circuit system of the sensor is designed.
从理论上阐述了微悬桥结构气体流速传感器的工作原理,设计了微悬桥的结构、工艺版图以及其电路系统。
4)  spatial suspension cable
空间悬索结构
5)  high suspended structure
高空悬托结构
1.
Design and construction for formwork support of high suspended structure at the top of cylinder;
仓筒顶部高空悬托结构模板支架设计与施工
6)  long cantilevered space structure
大悬挑空间结构
补充资料:超微结构
分子式:
CAS号:

性质:组织细胞或亚细胞颗粒中不能用光学显微镜揭示的精细结构,可采用电子显微镜展现的细胞细微结构。

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