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1)  electrochemical 3D micromachining technology
3D电化学微加工
1.
Silicon micro-processing technology and other micro-processing technologies developed in recent years,such as electrochemical 3D micromachining technology and EFAB technology,are introduced in details.
详细阐述了硅微加工工艺以及近几年内国际上开发的一些新的加工技术,如3D电化学微加工、EFAB工艺等,并提出了目前这些方法中存在的缺陷。
2)  micro ECM
微细电化学加工
1.
Development of a pulse power supply for micro ECM;
微细电化学加工电源的设计与研究
2.
Then a micro ECM process is also tried to drill array micro holes.
以微细孔、微细三维结构的加工为目标,进行了微细孔电火花加工、三维微细结构电火花伺服扫描加工及微细电化学加工技术的研究开发。
3)  micro-zone electrochemical process
微区电化学加工
4)  micro-ECM
微细电化学加工
1.
Using the application of nanosecond pulse current,the micro-hole with 20μm in diameter is machined in the micro-ECM experimental system.
在微细电化学加工系统中,采用纳秒级的超短脉冲电流,通过加工试验验证了理论分析,加工出了直径为20μm的微小孔。
2.
According to the research of Micro-ECM, the design of nano-second pulse generator is carried out.
本文应用电化学加工双电层的模型,利用电极暂态过程研究纳秒脉冲微细电化学加工机理。
5)  electrochemical micro-process
电化学微细加工
1.
The method of electrochemical micro-process based on scanning ion conductance microscopy(SICM) is developed.
提出了基于扫描离子电导显微术(SICM)的电化学微细加工方法。
6)  pulse electrochemical micro machining (PECMM)
脉冲电化学微细加工
补充资料:电化学图案加工
分子式:
CAS号:

性质:用一种固定的工具进行电化学加工的方法。加工过程中产生浅的凹槽,其形状与所用工具的形状相反。由于使用固定的工具,且不移动工件,故金属的加工深度只有1.5mm左右。如进行更深的加工,电解质电阻增大,电流密度减小,加工速度缓慢,也影响加工质量和精度。此方法已用于加工泵体内面的凹形槽以及圆柱形压力箱内面上的环形槽等。

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参考词条