应用x线显微分析器(x-ray microanalyzer)探测细胞或组织的微小区域内元素成分的技术，在新型的扫描电镜与透射电镜均装配有该装置。可对样品中的元素进行定性和定量分析，常用的为能谱分析法，根据所测谱峰以确定细胞局部区域内所含元素的性质及元素的相对含量。