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1)  non-oil ultra high vacuum system
无油超高真空系统
1.
Abstract: The structures and operating methods of turbo molecular pump with non-oil ultra high vacuum system and sputter ion pump with non-oil ultra high vacuum system are introduced, and their relevant characters are discussed.
对涡轮分子泵无油超高真空系统及溅射离子泵无油超高真空系统的结构及操作方法作了介绍,并对它们相关的特性进行了讨论。
2)  ultra high vacuum system
超高真空系统
1.
An Ultra High Vacuum System Fully Made of Homemade Material and Devices Used for Magnetic Optical Trap Experiment;
全部采用国产材料和设备实现磁光阱超高真空系统
3)  oil-free pump system
无油真空系统
4)  oil-free ultra-high vacuum coating equipment
无油超高真空镀膜设备
5)  UHV/XHV system
超高/极高真空系统
6)  oilless ultra-vacuum valve
无油超真空阀门
补充资料:超高真空
分子式:
CAS号:

性质:压力低于10-6Pa的气态空间。在超高真空条件下可以获得免于污染的清洁固体表面。现在多用无油超高真空系统产生。该系统主要由预抽泵、主体泵和金属阀门组成。常用的预抽泵有分子筛吸附泵或机械泵加分子筛吸附阱。主体泵有钛泵、钛升华泵、弹道式钛泵等,真空度可达10-9Pa。

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参考词条