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1)  Post-CMP Cleaning
CMP后清洗
2)  Stress-free Polishing
后CMP清洗
3)  Post-CMP clean
后清洗
4)  post-mounting flushing
安装后清洗
5)  back spray rinsing
后喷<洗>清洗法
6)  post-service cleaning
运行后的清洗
补充资料:5'-cmp
CAS: 63-37-6
分子式: C9H14N3O8P
熔点: 233℃

中文名称: 5'-胞(嘧啶核)苷酸;胞苷-5'-单磷酸一水物

英文名称: 5'-Cytidylic acid;5'-cmp;cmp (nucleotide);cytidine 5'-(dihydrogenphosphate);cytidine 5'-monophosphoric acid;cytidine 5'-phosphate;cytidine 5'-phosphoric acid;cytidine monophosphate;cytidylic acid
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参考词条