1) vertical comb drive
垂直梳齿驱动器
1.
The hybrid driving structure is made up of a planar plate drive and a vertical comb drive.
报道了以体硅表面硅混合微加工工艺制作在SOI衬底上的一种新型复合静电驱动结构致动内旋转微镜,其中复合静电驱动结构由一个平板驱动器和一个垂直梳齿驱动器构成。
2) comb-drive actuator
梳齿驱动器
1.
Design and fabrication of MEMS comb-drive actuator with large displacement
大位移MEMS静电梳齿驱动器的设计及制作
2.
A comb-drive actuator for lateral movement of over 100μm under low driving voltage is designed.
制作了一种低驱动电压、位移达100μm的梳齿驱动器。
4) comb-drive
梳齿驱动
1.
Novel design of comb-drive type micromirror;
一种新型梳齿驱动式微镜
2.
The comb-drive .
本文针对静电梳齿驱动结构的MEMS光开关,介绍了光开关的工作原理,选择微反射镜的位移作为系统的广义坐标,通过计算系统的动能、势能、磁能及电能构造了系统的拉格朗日函数,确定了耗散函数,最终建立了系统的机电动力学方程。
5) electrostatic comb-finger actuator
静电梳齿微驱动器
1.
Silicon micromachined gyroscope is mainly driven by electrostatic comb-finger actuator which has advantages of simple structure,low power supply,high sensitivity and not susceptible to temperature.
静电梳齿微驱动器因其结构简单、功耗低、灵敏度高、受温度影响小,成为硅微陀螺仪的主要驱动方式。
6) MEMS comb-drive actuator
MEMS静电梳齿驱动器
1.
Design of MEMS comb-drive actuator for large-displacement and low-voltage;
大位移、低电压驱动MEMS静电梳齿驱动器的设计与研究
补充资料：梳齿
1.梳子的齿。借指发梳。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条