1) spin-coating
甩胶
1.
Based on analysis of applied force on liquid resist,the mechanism of spin-coating,the shape of liquid resist coating,the relations among resist thickness,viscosity and motor rotating speed are studied.
在研究液体抗蚀剂受力分析的基础上,对液体抗蚀剂的甩胶原理,甩胶后抗蚀剂的液面形状、抗蚀剂涂层厚度与抗蚀剂黏度和马达转速之间的关系等进行了研究。
2) whirl coating and washing
甩胶涂覆法
3) spinner
离心甩胶机
4) spin-coating spray pyrolysis
甩胶喷雾热分解
1.
The temperature of spin-coating spray pyrolysis for preparing films was determined by TG as 120℃.
配置羧酸铕配合物溶于二甲基亚砜中形成溶液,经TG确定甩胶喷雾热分解成膜温度为120℃,制备薄膜设备为自制,通过实验摸索各实验参数,成功制备了羧酸铕配合物光致发光薄膜。
补充资料:离心甩胶机
分子式:
CAS号:
性质:固定基片并以可控速率(常为1000~6000r/min)旋转的装置。用以在基片上涂敷极薄的光致抗蚀剂涂层。
CAS号:
性质:固定基片并以可控速率(常为1000~6000r/min)旋转的装置。用以在基片上涂敷极薄的光致抗蚀剂涂层。
说明:补充资料仅用于学习参考,请勿用于其它任何用途。