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1)  LPCVD growth
LPCVD生长
1.
This paper presents the development of LPCVD growth of 3C-SiC thin films grown on Si mesas and thermallyoxidized SiO2masks over Si with an area of 150×100μm2and SiO2/Si substrates.
本文报道用在S i台面及热氧化S iO2衬底上3C-S iC薄膜的LPCVD生长,反应生长使用的气体为S iH4和C2H4,载气为H2,采用光学显微镜、X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)、扫描电镜(SEM)、以及室温Hall测试对所生长的3C-S iC材料进行了测试与分析,结果表明在3C-S iC和S iO2之间没有明显的坑洞形成。
2)  Low pressure chemical vapour deposition
LPCVD法
3)  LPCVD nitride
LPCVD氮化硅
4)  growth [英][ɡrəʊθ]  [美][groθ]
生长
1.
Effects of frequency and magnetic strength on the growth of Anabaena flos-aquae by pulsed electric magnetic field;
脉冲变频电磁场对水华鱼腥藻生长的效应
2.
Effects of nitrogen and phosphorus limitation on the growth of Chattonella marina;
N、P营养盐对海洋卡盾藻(Chattonella marina)生长的影响
3.
Effect of hydrogen evolution on the growth of nickel dendrite by electrodeposition;
析氢对电沉积镍枝晶生长的影响
5)  growing [英]['ɡrəʊɪŋ]  [美]['groɪŋ]
生长
1.
Changes of Some Important Aroma Components in Burley Tobacco during Growing, Harvesting and Curing;
生长、采收、调制过程中白肋烟重要香味成分的变化
2.
A State of Growing——Analyzing the Campus of University of Birmingham;
一种生长状态——解读英国伯明翰大学校园
3.
Effects of Nitrogen Forms and Film Uncoveringon Growing,Yield and Quality of Flue-cured Tobacco;
氮肥形态及揭膜对烤烟生长及产量品质的影响
6)  grow [英][ɡrəʊ]  [美][gro]
生长
1.
Lactobacillus survive and grow in the thin fermented material;
乳酸菌在稀醪中成活与生长
2.
Effects of the Biological Organic Fertilizer on the Growth and Quality of Tomatoes;
生物有机肥对西红柿生长及品质影响效应初探
3.
Impact of salicylic acid on the growth of two types of bacteria;
水杨酸对两种细菌生长的影响
补充资料:LPCVD
分子式:
CAS号:

性质:一种在低压下利用化学反应进行外延生长方法。其突出的优点是外延生长室为低压,此时载气流速增大,反应物质在表面的扩散系数增大,可减少反应物之间的寄生反应,以及外延生长对反应室的记忆效应,增大纵向均匀性。其压力范围一般在1.0Pa到4×104pa之间。低压外延有时是必须采用的手段,当化学反应对压力敏感,原材料蒸气压很低时,常压下不易进行反应,在低压下变得容易进行。

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参考词条