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1)  focus error detection
离焦检测
1.
Based on the focus pre-search a method is presented to measure the characteristics of the traverse focus error detection system:focus offset,focus error sensitivity and linear range.
利用聚焦预搜索原理,测量出小机芯离焦检测系统特性的关键参数:离焦偏置、离焦灵敏度和线性区范围。
2)  defocusing error detection
离焦误差检测
3)  focus error detecting
离焦检焦
4)  focusing detection
聚焦检测
1.
Its main components are optical path of focusing detection which based on improved foucault knife method,focusing servo system,quantitative measuring equipment and mechanical adjusting mechanism.
对一种基于激光聚焦伺服式传感器的激光聚焦伺服式轮廓仪的基本原理进行了阐述,给出了整体设计方案,并对测量过程中聚焦检测信号模型进行了分析。
5)  focal plane
焦面检测
1.
Measurement of the focal plane with position sensitive detectors;
使用位敏探测器PSD的焦面检测方法
6)  Focus length measure
焦距检测
补充资料:气体检测传感器的检测原理
检测气体的浓度依赖于气体检测变送器,传感器是其核心部分,按照检测原理的不同,主要分为金属氧化物半导体式传感器、催化燃烧式传感器、定电位电解式气体传感器、迦伐尼电池式氧气传感器、红外式传感器、PID光离子化传感器、等以下简单概述各种传感器的原理及特点。

金属氧化物半导体式传感器 
    金属氧化物半导体式传感器利用被测气体的吸附作用,改变半导体的电导率,通过电流变化的比较,激发报警电路。由于半导体式传感器测量时受环境影响较大,输出线形不稳定。金属氧化物半导体式传感器,因其反应十分灵敏,故目前广泛使用的领域为测量气体的微漏现象。

催化燃烧式传感器。 
    催化燃烧式传感器原理是目前最广泛使用的检测可燃气体的原理之一,具有输出信号线形好、指数可靠、价格便宜、无与其他非可燃气体的交叉干扰等特点。催化燃烧式传感器采用惠斯通电桥原理,感应电阻与环境中的可燃气体发生无焰燃烧,使温度使感应电阻的阻值发生变化,打破电桥平衡,使之输出稳定的电流信号,再经过后期电路的放大、稳定和处理最终显示可靠的数值。

定电位电解式气体传感器 
    定电位电解式传感器是目前测毒类现场最广泛使用的一种技术,在此方面国外技术领先,因此此类传感器大都依赖进口。定电位电解式气体传感器的结构:在一个塑料制成的筒状池体内,安装工作电极、对电极和参比电极,在电极之间充满电解液,由多孔四氟乙烯做成的隔膜,在顶部封装。前置放大器与传感器电极的连接,在电极之间施加了一定的电位,使传感器处于工作状态。气体与的电解质内的工作电极发生氧化或还原反应,在对电极发生还原或氧化反应,电极的平衡电位发生变化,变化值与气体浓度成正比。

迦伐尼电池式氧气传感器 
    隔膜迦伐尼电池式氧气传感器的结构:在塑料容器的一面装有对氧气透过性良好的、厚10~30μm的聚四氟乙烯透气膜,在其容器内侧紧粘着贵金属(铂、黄金、银等)阴电极,在容器的另一面内侧或容器的空余部分形成阳极(用铅、镉等离子化倾向大的金属)。用氢氧化钾。氧气在通过电解质时在阴阳极发生氧化还原反应,使阳极金属离子化,释放出电子,电流的大小与氧气的多少成正比,由于整个反应中阳极金属有消耗,所以传感器需要定期更换。目前国内技术已日趋成熟,完全可以国产化此类传感器。

红外式传感器 
    红外式传感器利用各种元素对某个特定波长的吸收原理,具有抗中毒性好,反应灵敏,对大多数碳氢化合物都有反应。但结构复杂,成本高。

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