1) defocusing laser direct writing
离焦激光直写
1.
A linewidth stabilizing method for defocusing laser direct writing is proposed for further improvement of line quality of diffractive optical elements.
为了提高激光直写加工衍射光学元件时的线条质量,提出一种离焦激光直写的线宽稳定方法。
2) laser direct writing
激光直写
1.
Optimization of S-curve intensity control model for laser direct writing;
激光直写中S曲线光强控制模型的参数优化(英文)
2.
Realization of electric control of laser direct writing mesh on concave spherical substrate;
激光直写凹球面网栅的电控实现
3.
Two beam interference laser direct writing technique for disk security;
干涉型激光直写技术用于光盘防伪
4) LDWS
激光直写入
1.
AUTO FOCUSING IN LDWS BY USING COLLIMATING EYELET METHOD;
准直小孔法自动调焦在激光直写入系统中的应用
6) laser direct writing photolithography
激光直写光刻
1.
The effect that the intensity of the writing spot relating to the amounts of defocus in the laser direct writing photolithography is analyzed based on the diffractive theory and the ray-tracing method, respectively.
采用理论计算和光线追迹分析了激光直写光刻中离焦对写入焦斑光场分布的影响;使用四轴激光直写设备开展了离焦激光直写光刻工艺实验,实验和理论计算及光线追迹的结果吻合得很好。
补充资料：激光准直仪
激光准直仪
laser collimator
iiguang Zhunzhiyi激光准直仪(laser Collimator)利用激光束标定直线的仪器。通常由激光发射系统和光电检侧系统组成。其原理是:利用激光的方向性好、发散角小、亮度强等特点，通过望远镜作定向发射，在空间形成一条光束作为准直的墓准线。分为激光经纬仪准直和波带板激光准直。激光经纬仪准直，由望远镜发射器和光电检测器(光电接收靶)组成。激光通过望远镜发射，调节焦距使光束能在接收靶上形成较小的光斑，在需要准直的点上用光电检测器观测光斑能量中心，以测定各点偏离基准线的偏差值。激光束受本身的漂移和大气条件的影响，准直精度约为长度的10一5一10一“。用于军用坑道和飞机洞库等地下工程开挖、管道敷设、建筑物施工等。波带板激光准直仪，由激光器点光源、波带板装置与光电接收靶组成。测量时，在基准线两端点上分别安置激光器和接收靶，在中间需要准直的点上安置波带板，激光器l掖光源发射出一束激光，照射到波带板，在接收处由于光干涉作用聚焦形成亮点或亮十字线。根据光的衍射原理，激光发射中心、波带板中心及成像光斑中心将构成一条直线。三点准直克服了漂移，能提高准直精度，若让激光束穿过真空管道，还可克服大气折射影响，准直精度达长度的10一7。用于军事工程长距离精密准直测量，例如导弹发射用的火箭橇轨道、高能粒子对撞机直线加速器、大型机械设备轴线安装及建筑物变形观测等。 (于来法)
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参考词条