1) bulk silicon etching
体硅腐蚀
1.
Bulk silicon etching is executed after surface micromachining processes in the fabrication of silicon microphone,which causes new fabrication problems of the protection for the front side of the wafer and control of bulk silicon etching.
在其工艺制作过程中,在表面硅微加工之后进行体硅的湿法腐蚀,由此产生了硅片的正面保护和体硅腐蚀的控制等新的工艺问题。
3) silicon etch solution
硅腐蚀液
4) silicon etchant
硅腐蚀剂
5) silicon alkaline etching
硅碱性腐蚀
6) SiC corrosion
碳化硅腐蚀
补充资料：氮化硅纤维增强体(见氮化硅纤维)
氮化硅纤维增强体(见氮化硅纤维)
silicon nitride fibres reinforcements
夔薰黔慧燃泳
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参考词条